| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 引言 | 第10页 |
| 1.2 非晶碳膜的发展与应用 | 第10-13页 |
| 1.2.1 非晶碳膜的分类 | 第10-11页 |
| 1.2.2 非晶碳膜的制备方法 | 第11-13页 |
| 1.2.3 非晶碳膜的应用 | 第13页 |
| 1.3 掺杂非晶碳膜的研究与发展 | 第13-14页 |
| 1.3.1 非晶碳膜的研究 | 第13-14页 |
| 1.3.2 掺杂非晶碳膜的研究 | 第14页 |
| 1.4 非晶碳膜热磨损性能研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4.1 非晶碳膜热稳定性研究 | 第14-15页 |
| 1.4.2 非晶碳膜热磨损性能研究 | 第15页 |
| 1.5 研究内容及意义 | 第15-17页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第15-16页 |
| 1.5.2 研究意义 | 第16-17页 |
| 1.6 技术路线图 | 第17-18页 |
| 2 实验设备及方法 | 第18-26页 |
| 2.1 薄膜制备设备及工艺 | 第18-21页 |
| 2.1.1 闭合场非平衡磁控溅射设备简介 | 第18页 |
| 2.1.2 实验材料及薄膜制备工艺 | 第18-21页 |
| 2.2 热磨损实验设备及规范 | 第21-23页 |
| 2.2.1 高温摩擦磨损试验机简介 | 第21-22页 |
| 2.2.2 热磨损实验规范及条件 | 第22-23页 |
| 2.3 检测设备及性能表征 | 第23-26页 |
| 2.3.1 磨痕、磨屑形貌观察 | 第23页 |
| 2.3.2 成分检测 | 第23-24页 |
| 2.3.3 摩擦系数 | 第24页 |
| 2.3.4 薄膜磨损率计算 | 第24-26页 |
| 3 评定方法对掺杂非晶碳膜热磨损性能评定结果的影响 | 第26-42页 |
| 3.1 Mo、Si掺杂非晶碳膜在直接热磨损试验中的性能评定 | 第26-32页 |
| 3.1.1 Mo、Si掺杂比例对非晶碳膜不同温度磨损时摩擦系数的影响 | 第26-29页 |
| 3.1.2 Mo、Si掺杂比例对非晶碳膜不同温度磨损时磨损率的影响 | 第29-32页 |
| 3.2 Mo、Si掺杂非晶碳膜在高温氧化处理后常温磨损试验中的性能评定 | 第32-37页 |
| 3.2.1 Mo、Si掺杂比例对非晶碳膜不同温度预氧化后常温磨损时摩擦系数的影响 | 第33-34页 |
| 3.2.2 Mo、Si掺杂比例对非晶碳膜不同温度预氧化后常温磨损时磨损率的影响 | 第34-37页 |
| 3.3 不同热磨损性能评定方法对掺杂非晶碳膜性能评定结果的影响 | 第37-41页 |
| 3.3.1 评定方法对掺杂非晶碳膜减摩性评定结果的影响 | 第37-39页 |
| 3.3.2 评定方法对掺杂非晶碳膜耐磨性评定结果的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.3 评定方法对掺杂非晶碳膜极限服役温度评定结果的影响 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 掺杂非晶碳膜热磨损时磨损行为及失效主导因素讨论 | 第42-62页 |
| 4.1 Mo、Si掺杂非晶碳膜不同温度直接热磨损时的磨损形貌观察 | 第42-47页 |
| 4.1.1 未掺杂迟滞氧化元素非晶碳膜不同温度直接热磨损时的磨损形貌 | 第42-43页 |
| 4.1.2 Mo、Si掺杂非晶碳膜不同温度直接热磨损时的磨损形貌 | 第43-47页 |
| 4.2 Mo、Si掺杂非晶碳膜在不同温度热磨损时的磨损产物成分 | 第47-52页 |
| 4.2.1 Mo、Si掺杂非晶碳膜不同温度热磨损时的磨痕处成分 | 第47-51页 |
| 4.2.2 Mo、Si掺杂非晶碳膜不同温度热磨损时的磨屑成分 | 第51-52页 |
| 4.3 Mo、Si掺杂对非晶碳膜不同温度直接磨损时减摩特征的影响 | 第52-54页 |
| 4.4 掺杂非晶碳膜热磨损特征及失效主要因素讨论 | 第54-62页 |
| 4.4.1 掺杂非晶碳膜热磨损特征 | 第54-55页 |
| 4.4.2 Mo、Si掺杂非晶碳膜热磨损失效主导因素讨论 | 第55-62页 |
| 5 结论 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
