| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 等离子体诊断技术 | 第10-22页 |
| 1.1.1 朗缪尔探针 | 第10-13页 |
| 1.1.2 等离子体光谱 | 第13-16页 |
| 1.1.3 等离子体质量能量诊断 | 第16-17页 |
| 1.1.4 等离子体中的微波诊断 | 第17-22页 |
| 1.2 本论文的主要工作内容 | 第22-24页 |
| 第二章 微波干涉仪的设计 | 第24-44页 |
| 2.1 干涉仪诊断原理 | 第24-29页 |
| 2.1.1 电磁波在等离子体中的传播 | 第24-28页 |
| 2.1.2 等离子体电子密度测量 | 第28-29页 |
| 2.2 干涉仪频率的选择 | 第29-31页 |
| 2.3 微波在干涉仪系统中的损耗 | 第31-36页 |
| 2.3.1 电磁波在介质中的传播及损耗 | 第31-34页 |
| 2.3.2 微波在等离子体中的衰减 | 第34-36页 |
| 2.4 干涉仪结构及构建 | 第36-44页 |
| 2.4.1 干涉仪结构及测量方法 | 第36-37页 |
| 2.4.2 干涉仪使用器件 | 第37-44页 |
| 第三章 电容耦合等离子体电子密度的测量 | 第44-60页 |
| 3.1 电容耦合等离子体装置 | 第44-48页 |
| 3.1.1 电容耦合等离子体的产生 | 第44-47页 |
| 3.1.2 电容耦合等离子体装置 | 第47-48页 |
| 3.2 干涉仪测量电容耦合等离子体电子密度 | 第48-60页 |
| 3.2.1 微波干涉仪电子密度测量 | 第48-53页 |
| 3.2.2 微波干涉仪电子密度及其时间变化测量 | 第53-60页 |
| 第四章 氢气分子束流引入对ECR氢等离子体中离子特征的影响 | 第60-68页 |
| 4.1 氢气等离子体离子特征的研究背景 | 第60-61页 |
| 4.2 等离子体产生装置与诊断系统 | 第61-62页 |
| 4.3 离子特征结果与分析 | 第62-68页 |
| 4.3.1 氢气等离子体离子特性研究 | 第62-64页 |
| 4.3.2 氢分子束对氢气等离子体的的离子特征的影响 | 第64-68页 |
| 第五章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 5.1 本论文的内容总结 | 第68-69页 |
| 5.2 下一步可进行的实验研究 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第78页 |