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全钙钛矿结构磁性隧道结的制备与性能研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
第1章 绪论第10-22页
    1.1 磁电阻效应简介第10-11页
    1.2 钙钛矿型锰氧化物的研究进展与现状第11-19页
        1.2.1 镧锰氧化物中CMR 效应的产生第11-12页
        1.2.2 镧锰氧化物的晶体结构及电磁特性第12-19页
    1.3 自旋极化的电子隧道效应第19-21页
    1.4 本文研究目的和意义第21-22页
第2章 相关薄膜样品的制备及表征方法和原理第22-28页
    2.1 磁控溅射制备方法第22-25页
        2.1.1 磁控溅射的原理第22-24页
        2.1.2 本文所用磁控溅射设备介绍第24-25页
    2.2 薄膜的结构表征和物理性能测量第25-27页
        2.2.1 薄膜的厚度测量第25页
        2.2.2 薄膜的结构及形貌分析第25-26页
        2.2.3 样品的成分分析第26-27页
        2.2.4 样品的磁电学性能分析第27页
    2.3 本章小结第27-28页
第3章 单层La_(0.7)51_(0.3)MnO_3薄膜的结构及磁电学性能研究第28-45页
    3.1 引言第28-29页
    3.2 样品的制备第29-31页
        3.2.1 靶材的制备第29-31页
        3.2.2 实验过程第31页
    3.3 实验结果与讨论第31-44页
        3.3.1 不同生长方向的LSMO 薄膜结构及性能研究第31-36页
        3.3.2 异位退火对LSMO 薄膜结构及磁学性能的影响第36-42页
        3.3.3 原位退火对LSMO 薄膜磁学性能的影响第42-44页
    3.4 本章小结第44-45页
第4章 全钙钛矿结构磁性隧道结的输运性能研究第45-62页
    4.1 引言第45页
    4.2 样品的制备第45-48页
        4.2.1 磁性隧道结的制备第45-46页
        4.2.2 磁性隧道结的光刻第46页
        4.2.3 磁性隧道结的测试第46-48页
    4.3 实验结果与讨论第48-61页
        4.3.1 中间绝缘层厚度对磁性隧道结性能的影响第48-51页
        4.3.2 不同退火方式对磁性隧道结性能的影响第51-56页
        4.3.3 反铁磁钉扎层对磁性隧道结性能的改善第56-61页
    4.4 本章小结第61-62页
结论第62-64页
参考文献第64-70页
攻读硕士学位期间发表的学术论文第70-71页
致谢第71页

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