| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-13页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.3 本文的主要工作 | 第12-13页 |
| 2 激光直写系统的原理 | 第13-27页 |
| 2.1 双光子聚合原理 | 第13-15页 |
| 2.2 影响双光子吸收率的因素 | 第15-16页 |
| 2.3 双光子聚合反应的范围 | 第16-18页 |
| 2.4 高斯光束的性质 | 第18-21页 |
| 2.5 激光光束光斑中心测量方法 | 第21-26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 基于473 nm连续激光器的三维激光直写系统的搭建 | 第27-46页 |
| 3.1 系统结构 | 第27-29页 |
| 3.2 光路设计 | 第29-33页 |
| 3.3 激光功率的快速控制 | 第33-36页 |
| 3.4 分界面定位和坐标转换 | 第36-43页 |
| 3.5 基于Matlab的激光直写系统加工坐标文件生成及轨迹优化 | 第43-44页 |
| 3.6 本章小结 | 第44-46页 |
| 4 实验结果与分析 | 第46-58页 |
| 4.1 系统光路调整验证 | 第46-47页 |
| 4.2 激光功率与控制电压建模 | 第47页 |
| 4.3 分界面查找和坐标转换验证 | 第47-51页 |
| 4.4 工艺参数分析及优化实验 | 第51-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-58页 |
| 5 微纳结构的制作 | 第58-65页 |
| 5.1 正方形方孔的制作 | 第58页 |
| 5.2 阿基米德螺旋线的加工 | 第58-60页 |
| 5.3 直线天线阵列的加工 | 第60-62页 |
| 5.4 三维木堆结构的加工 | 第62-64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 6 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 全文总结 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-73页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第73页 |