| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-24页 |
| 1.1 微机电系统概述 | 第12-14页 |
| 1.2 微机电系统器件材料 | 第14-15页 |
| 1.3 玻璃的微细加工技术 | 第15-18页 |
| 1.3.1 激光加工 | 第15-16页 |
| 1.3.2 超声加工 | 第16页 |
| 1.3.3 磨料水射流加工 | 第16-17页 |
| 1.3.4 化学腐蚀加工 | 第17页 |
| 1.3.5 电化学放电加工 | 第17-18页 |
| 1.4 电化学放电加工国内外研究现状 | 第18-21页 |
| 1.4.1 国外研究现状 | 第18-20页 |
| 1.4.2 国内研究现状 | 第20-21页 |
| 1.5 课题来源和研究内容 | 第21-24页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第21-22页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 电化学放电加工机理研究 | 第24-33页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 电化学放电加工原理 | 第24-25页 |
| 2.3 电化学放电气层形成机理 | 第25-29页 |
| 2.3.1 气泡的生成 | 第25-27页 |
| 2.3.2 气泡的溢出 | 第27-28页 |
| 2.3.3 稳定气层的形成 | 第28-29页 |
| 2.4 材料的去除机理 | 第29-31页 |
| 2.4.1 电化学放电热蚀去除材料 | 第29-31页 |
| 2.4.2 化学腐蚀去除材料 | 第31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 基于脉冲电源的电化学放电特性研究 | 第33-45页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 试验装置和方法 | 第33-36页 |
| 3.2.1 试验装置 | 第33-35页 |
| 3.2.2 试验方法 | 第35-36页 |
| 3.3 不同条件下电化学放电的临界电压 | 第36-41页 |
| 3.3.1 电解液类型和浓度对临界电压的影响 | 第38-39页 |
| 3.3.2 工具电极直径大小和转速对临界电压的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.3 电源频率和占空比大小对临界电压的影响 | 第40-41页 |
| 3.4 电源电压对气层形成时间以及火花放电平均电流的影响 | 第41-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 电化学放电微孔加工 | 第45-57页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 电化学放电微孔加工过程 | 第45-48页 |
| 4.3 试验装置与设计 | 第48-51页 |
| 4.3.1 试验装置 | 第48-50页 |
| 4.3.2 试验设计 | 第50-51页 |
| 4.4 试验结果与讨论 | 第51-56页 |
| 4.4.1 电源电压对加工效果的影响 | 第51-53页 |
| 4.4.2 电源频率对加工效果的影响 | 第53-55页 |
| 4.4.3 加工实例 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 电化学放电微槽及三维微细结构加工 | 第57-69页 |
| 5.1 引言 | 第57页 |
| 5.2 试验装置与设计 | 第57-63页 |
| 5.2.1 试验装置 | 第57-61页 |
| 5.2.2 试验设计 | 第61-63页 |
| 5.3 试验结果与讨论 | 第63-66页 |
| 5.3.1 电源电压对粗糙度的影响 | 第63-64页 |
| 5.3.2 电源频率对粗糙度的影响 | 第64-65页 |
| 5.3.3 进给速率对粗糙度的影响 | 第65页 |
| 5.3.4 工具电极转速对粗糙度的影响 | 第65-66页 |
| 5.4 三维微细结构加工 | 第66-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-69页 |
| 第六章 总结与展望 | 第69-73页 |
| 6.1 论文总结 | 第69-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第82页 |