| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 缓蚀剂概述 | 第11-13页 |
| 1.1.1 缓蚀剂的定义 | 第11页 |
| 1.1.2 缓蚀剂的分类 | 第11-13页 |
| 1.2 离子液体概述 | 第13-16页 |
| 1.2.1 离子液体的定义与分类 | 第13-14页 |
| 1.2.2 离子液体的性质 | 第14-16页 |
| 1.3 离子液体缓蚀剂的研究进展 | 第16-24页 |
| 1.3.1 离子液体缓蚀剂的实验研究 | 第16-21页 |
| 1.3.2 离子液体缓蚀剂的理论研究 | 第21-24页 |
| 1.4 本课题的提出及研究内容 | 第24-27页 |
| 第二章 离子液体缓蚀剂分子的电子结构和反应活性 | 第27-39页 |
| 2.1 引言 | 第27-28页 |
| 2.2 计算方法 | 第28页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第28-38页 |
| 2.3.1 [XMIM][Cl]体系 | 第30-33页 |
| 2.3.2 [XMIM][Ac]体系 | 第33-35页 |
| 2.3.3 [OMIM][Y]体系 | 第35-38页 |
| 2.4 三组体系的对比 | 第38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 铁表面的表面能和电子结构 | 第39-46页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 计算方法 | 第39-40页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第40-45页 |
| 3.3.1 铁表面的结构及表面能 | 第40-41页 |
| 3.3.2 铁表面的电子结构 | 第41-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 [XMIM][Cl]体系在Fe(110)面的吸附行为 | 第46-52页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 计算方法 | 第46-47页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第47-51页 |
| 4.3.1 加入单个离子液体缓蚀剂的情况 | 第47-49页 |
| 4.3.2 加入多个离子液体缓蚀剂的情况 | 第49-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 [XMIM][Ac]体系在Fe(110)面的吸附行为 | 第52-57页 |
| 5.1 引言 | 第52页 |
| 5.2 计算方法 | 第52页 |
| 5.3 结果与讨论 | 第52-56页 |
| 5.3.1 加入单个离子液体缓蚀剂的情况 | 第52-54页 |
| 5.3.2 加入多个离子液体缓蚀剂的情况 | 第54-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 [OMIM][Y]体系在Fe(110)面的吸附情况 | 第57-63页 |
| 6.1 引言 | 第57页 |
| 6.2 计算方法 | 第57页 |
| 6.3 结果与讨论 | 第57-61页 |
| 6.3.1 加入单个离子液体缓蚀剂的情况 | 第57-59页 |
| 6.3.2 加入多个离子液体缓蚀剂的情况 | 第59-61页 |
| 6.4 三组体系在Fe(110)面吸附情况的比较 | 第61-62页 |
| 6.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第七章 结论 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-73页 |
| 附录:攻读硕士期间研究成果 | 第73页 |
