摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6页 |
1 绪论 | 第9-12页 |
1.1 概述 | 第9-10页 |
1.2 背景与应用 | 第10页 |
1.3 论文研究的主要工作和重点 | 第10-12页 |
2 各种测量方法及比较 | 第12-23页 |
2.1 透射比测量 | 第12-15页 |
2.1.1 透射比 | 第12-13页 |
2.1.2 透射比的测量方法 | 第13-15页 |
2.2 反射比测量 | 第15-21页 |
2.2.1 反射比 | 第15页 |
2.2.2 反射比的测量方法 | 第15-21页 |
2.3 各种测量方法的比较 | 第21-22页 |
2.4 本章小结 | 第22-23页 |
3 光学元件高反射比、高透射比测量系统 | 第23-53页 |
3.1 光学元件高反射比、高透射比测量系统的测量原理 | 第23-25页 |
3.1.1 测量系统的测量原理 | 第23-25页 |
3.2 光学元件高反射比高透射比测量系统 | 第25-48页 |
3.2.1 光源系统 | 第26-28页 |
3.2.2 高精度激光稳功率系统 | 第28-32页 |
3.2.3 监视测量系统 | 第32-36页 |
3.2.4 精密接收探测系统 | 第36-42页 |
3.2.5 计算机数据采集、处理及控制系统 | 第42-48页 |
3.3 测量系统的联调 | 第48-50页 |
3.3.1 光源系统的安装调试 | 第48页 |
3.3.2 激光稳功率系统的安装调试 | 第48-49页 |
3.3.3 监视探测系统的安装调试 | 第49-50页 |
3.3.4 精密接收探测系统的安装调试 | 第50页 |
3.4 关键技术的解决情况 | 第50-52页 |
3.4.1 光学元件高反射比、高透射比测量系统的总体设计 | 第50页 |
3.4.2 空间滤波技术 | 第50-51页 |
3.4.3 稳功率激光束的获得及光路调整 | 第51页 |
3.4.4 监视探测器的研制(陷阱探测器) | 第51页 |
3.4.5 精密接收探测器的研制(积分球探测器) | 第51-52页 |
3.4.6 双光路监视测量技术 | 第52页 |
3.4.7 光电流的精确测量 | 第52页 |
3.4.8 测量系统屏蔽技术 | 第52页 |
3.5 本章小结 | 第52-53页 |
4 高反射比、高透射比测量结果及测量不确定度分析 | 第53-64页 |
4.1 光学元件高反射比、高透射比测量结果 | 第53-57页 |
4.1.1 波长632.8nm,光学元件透射比的测量 | 第53-54页 |
4.1.2 波长632.8nm,光学元件高反射比测量 | 第54-55页 |
4.1.3 波长1064nm,光学元件高透射比测量 | 第55-56页 |
4.1.4 波长1064nm,光学元件高反射比测量 | 第56-57页 |
4.2 测量不确定度分析 | 第57-63页 |
4.2.1 激光光学元件高反射比测量不确定度分析评定 | 第58-61页 |
4.2.2 激光光学元件高透射比测量不确定度分析评定 | 第61-63页 |
4.3 本章小结 | 第63-64页 |
5 总结 | 第64-66页 |
5.1 结论 | 第64页 |
5.2 光学元件高反射比、高透射比测量技术进步点 | 第64-65页 |
5.3 下一步工作计划 | 第65-66页 |
致谢 | 第66-67页 |
参考文献 | 第67-69页 |