| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状及发展趋势 | 第13-18页 |
| 1.2.1 国外光栅测量技术发展现状 | 第13-16页 |
| 1.2.2 国内光栅测量技术发展现状 | 第16-17页 |
| 1.2.3 光栅尺的发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.3 课题来源、研究内容 | 第18-19页 |
| 1.4 技术路线 | 第19页 |
| 1.5 本章小节 | 第19-21页 |
| 第二章 绝对式光栅尺的原理与结构 | 第21-28页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 光栅尺的分类 | 第21-22页 |
| 2.3 增量式光栅尺的工作原理 | 第22-25页 |
| 2.3.1 光栅位移测量原理 | 第22-23页 |
| 2.3.2 莫尔条纹光电转化原理 | 第23-25页 |
| 2.4 绝对式光栅尺的工作原理 | 第25-27页 |
| 2.4.1 光电扫描多轨码道绝对光栅尺工作原理 | 第25-26页 |
| 2.4.2 图像识别单轨码道绝对光栅尺工作原理 | 第26-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 图像识别绝对光栅尺精度检测 | 第28-45页 |
| 3.1 开放式绝对光栅尺实验平台 | 第28-32页 |
| 3.1.1 开放式绝对光栅尺机构 | 第28-31页 |
| 3.1.2 测量仪器 | 第31页 |
| 3.1.3 开放式绝对光栅尺实验平台 | 第31-32页 |
| 3.2 开放式绝对光栅尺实验方案设计 | 第32-36页 |
| 3.3 实验数据处理 | 第36-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 封闭式绝对光栅尺结构设计优化 | 第45-55页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 封闭式绝对光栅尺各部分结构 | 第45-50页 |
| 4.2.1 主尺光栅与尺壳的设计 | 第45-46页 |
| 4.2.2 图像采集系统的结构设计 | 第46-47页 |
| 4.2.3 滑车系统的结构设计 | 第47-48页 |
| 4.2.4 图像处理系统封装盒结构设计 | 第48-50页 |
| 4.3 封闭式绝对光栅尺结构设计难点分析 | 第50-53页 |
| 4.3.1 金相显微镜的装配 | 第50页 |
| 4.3.2 光源的选择 | 第50-53页 |
| 4.3.3 平行光源的装配 | 第53页 |
| 4.4 封闭式绝对光栅尺结构 | 第53-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 封闭式绝对光栅尺静态读码抗振性能研究 | 第55-67页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 封闭式绝对光栅尺模态分析 | 第55-61页 |
| 5.2.1 ANSYS Workbench有限元软件 | 第55-56页 |
| 5.2.2 模态分析的基本理论 | 第56-57页 |
| 5.2.3 封闭式绝对光栅尺建模 | 第57页 |
| 5.2.4 材料添加与网格化分 | 第57-59页 |
| 5.2.5 模态分析 | 第59-61页 |
| 5.3 封闭式绝对光栅尺实验方案设计 | 第61-65页 |
| 5.4 实验数据处理 | 第65-66页 |
| 5.5 本章小结 | 第66-67页 |
| 总结与展望 | 第67-69页 |
| 课题总结 | 第67-68页 |
| 课题展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读学位期间发表的专利 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |