计量型紫外显微镜位移溯源及线宽测量技术的研究
| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第16-23页 |
| 1.1 课题研究背景、目的及意义 | 第16-17页 |
| 1.2 纳米测量技术 | 第17-20页 |
| 1.3 计量型紫外光学显微镜的国内外发展现状 | 第20-21页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 2 紫外光学显微镜微纳线宽标准测量装置 | 第23-35页 |
| 2.1 装置测量原理 | 第23-24页 |
| 2.2 装置结构组成 | 第24-34页 |
| 2.2.1 光学成像系统 | 第25-29页 |
| 2.2.2 位移系统 | 第29-32页 |
| 2.2.3 激光干涉测量系统 | 第32页 |
| 2.2.4 照明系统 | 第32-34页 |
| 2.3 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 激光干涉测量系统及其硬件电路设计 | 第35-47页 |
| 3.1 激光干涉测量系统 | 第35-43页 |
| 3.1.1 激光外差干涉测量 | 第35-37页 |
| 3.1.2 干涉系统光路布局及结构设计 | 第37-43页 |
| 3.2 干涉系统硬件电路设计 | 第43-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 4 光电倍增管硬件电路设计 | 第47-59页 |
| 4.1 光电倍增管及其分光结构 | 第47-52页 |
| 4.1.1 光电倍增管 | 第47-50页 |
| 4.1.2 分光结构设计 | 第50-52页 |
| 4.2 光电倍增管硬件电路 | 第52-58页 |
| 4.2.1 放大滤波电路 | 第52-57页 |
| 4.2.2 屏蔽盒设计 | 第57-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 5 信号触发与采集系统 | 第59-80页 |
| 5.1 系统硬件设计 | 第59-66页 |
| 5.1.1 PXI平台 | 第59-61页 |
| 5.1.2 干涉系统信号触发、采集硬件 | 第61-63页 |
| 5.1.3 光电倍增管AD采集硬件 | 第63-64页 |
| 5.1.4 硬件整体结构 | 第64-66页 |
| 5.2 系统软件设计 | 第66-79页 |
| 5.2.1 总体设计 | 第66-67页 |
| 5.2.2 FPGA终端模块 | 第67-73页 |
| 5.2.3 FPGA上位机模块 | 第73-76页 |
| 5.2.4 AD采集模块 | 第76-77页 |
| 5.2.5 状态机主程序 | 第77-79页 |
| 5.3 本章小结 | 第79-80页 |
| 6 实验结果与分析 | 第80-88页 |
| 6.1 实验装置 | 第80页 |
| 6.2 实验环境 | 第80-81页 |
| 6.3 2μm栅格样板线宽测量实验 | 第81-85页 |
| 6.4 测量数据处理 | 第85-86页 |
| 6.5 误差源分析 | 第86-87页 |
| 6.6 本章小结 | 第87-88页 |
| 7 总结与展望 | 第88-91页 |
| 7.1 全文总结 | 第88-89页 |
| 7.2 本论文创新点 | 第89页 |
| 7.3 展望 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-94页 |
| 作者简介 | 第94-95页 |
