| 前言 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-27页 |
| ·透明导电薄膜概述 | 第14-15页 |
| ·ZnO的性质 | 第15-17页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第15页 |
| ·ZnO的光电特性 | 第15-17页 |
| ·ZnO的其它特性 | 第17页 |
| ·ZnO中的点缺陷 | 第17-18页 |
| ·ZnO中的本征点缺陷 | 第17-18页 |
| ·ZnO中的非本征点缺陷 | 第18页 |
| ·ZnO透明导电薄膜的制备技术 | 第18-20页 |
| ·真空蒸发镀膜 | 第18-19页 |
| ·磁控溅射镀膜 | 第19页 |
| ·化学气相沉积 | 第19页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第19-20页 |
| ·喷雾热分解法 | 第20页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的研究现状 | 第20-23页 |
| ·AZO透明导电薄膜的低温制备 | 第21-22页 |
| ·ZnO基多层透明导电薄膜的低温制备 | 第22-23页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的应用 | 第23-25页 |
| ·透明热镜 | 第23-24页 |
| ·薄膜太阳能电池 | 第24页 |
| ·平面显示器 | 第24-25页 |
| ·其它应用 | 第25页 |
| ·本文的立题思路 | 第25-27页 |
| 第二章 实验原理及设备、薄膜制备及表征 | 第27-33页 |
| ·直流反应磁控溅射原理 | 第27-28页 |
| ·直流反应磁控溅射设备 | 第28-29页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的制备 | 第29-31页 |
| ·靶材的制备 | 第30页 |
| ·衬底的清洗 | 第30页 |
| ·溅射镀膜 | 第30-31页 |
| ·ZnO基透明导电薄膜的性能表征 | 第31-33页 |
| 第三章 AZO透明导电薄膜的室温制备及性能优化 | 第33-45页 |
| ·气体总压强对AZO透明导电薄膜光电特性的影响 | 第34-35页 |
| ·氧分压对AZO透明导电薄膜性能的影响 | 第35-45页 |
| ·氧分压对AZO透明导电薄膜沉积速率的影响 | 第35页 |
| ·氧分压对AZO透明导电薄膜结构性能的影响 | 第35-37页 |
| ·氧分压对AZO透明导电薄膜电学性能的影响 | 第37-38页 |
| ·氧分压对AZO透明导电薄膜光学性能的影响 | 第38-42页 |
| ·AZO透明导电薄膜的表面化学态分析 | 第42-43页 |
| ·小结 | 第43-45页 |
| 第四章 Cu基AZO多层结构薄膜的低温制备及性能优化 | 第45-66页 |
| ·Cu层厚度对多层薄膜性能的影响 | 第46-56页 |
| ·Cu层厚度对多层薄膜电学性能的影响 | 第47-49页 |
| ·Cu层厚度对多层薄膜结构性能的影响 | 第49-50页 |
| ·Cu层厚度对多层薄膜光学性能的影响 | 第50-53页 |
| ·Cu层厚度对多层薄膜品质因子的影响 | 第53-54页 |
| ·三种多层薄膜的热稳定性研究 | 第54-56页 |
| ·小结 | 第56页 |
| ·AZO层厚度对多层结构薄膜性能的影响 | 第56-59页 |
| ·AZO层厚度对AZO/Cu双层薄膜电学性能的影响 | 第57页 |
| ·AZO层厚度对AZO/Cu双层薄膜光学性能的影响 | 第57-58页 |
| ·AZO层厚度对AZO/Cu双层薄膜品质因子的影响 | 第58-59页 |
| ·不同生长温度下的Cu基AZO多层结构薄膜的性能研究 | 第59-66页 |
| ·生长温度对多层薄膜电学性能的影响 | 第59-60页 |
| ·生长温度对多层薄膜光学性能的影响 | 第60-62页 |
| ·生长温度对多层薄膜品质因子的影响 | 第62-63页 |
| ·生长温度对AZO/Cu双层薄膜结构性能的影响 | 第63-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 第五章 柔性Cu基AZO多层结构薄膜的制备及性能优化 | 第66-78页 |
| ·Cu层沉积时间对多层结构薄膜性能的影响 | 第66-71页 |
| ·Cu层沉积时间对多层薄膜电学性能的影响 | 第67-68页 |
| ·Cu层沉积时间对多层薄膜光学性能的影响 | 第68-70页 |
| ·Cu层沉积时间对多层薄膜品质因子的影响 | 第70-71页 |
| ·小结 | 第71页 |
| ·Cu层溅射功率对多层结构薄膜性能的影响 | 第71-78页 |
| ·Cu层溅射功率对多层薄膜电学性能的影响 | 第71-72页 |
| ·Cu层溅射功率对多层薄膜光学性能的影响 | 第72-73页 |
| ·Cu层溅射功率对多层薄膜品质因子的影响 | 第73-74页 |
| ·Cu层溅射功率对AZO/Cu双层薄膜结构性能和化学特性的影响 | 第74-76页 |
| ·小结 | 第76-78页 |
| 第六章 结论 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 个人简历 | 第89-90页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果 | 第90页 |
