Gd靶极紫外光源的等离子体特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-15页 |
| ·极紫外光刻介绍 | 第7-8页 |
| ·极紫外光源 | 第8-11页 |
| ·激光等离子体极紫外光源离带辐射 | 第11页 |
| ·Gd靶极紫外光源的等离子体特性研究目的及意义 | 第11-12页 |
| ·Gd靶极紫外光源的等离子体特性国内外研究现状 | 第12-14页 |
| ·论文主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 激光等离子体基本理论 | 第15-23页 |
| ·等离子体 | 第15-16页 |
| ·激光等离子体辐射 | 第16-17页 |
| ·激光等离子体发射光谱 | 第17-19页 |
| ·激光等离子体诊断方法 | 第19-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 Gd靶极紫外光谱及离带辐射的研究 | 第23-32页 |
| ·实验装置及实验方法 | 第23-25页 |
| ·激光Gd等离子体极紫外辐射的研究 | 第25-28页 |
| ·激光Gd等离子体极紫外光源离带辐射的研究 | 第28-29页 |
| ·掺杂靶离带辐射的研究 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-32页 |
| 第四章 激光Gd等离子体的参数诊断 | 第32-43页 |
| ·实验装置 | 第32页 |
| ·金属Gd靶等离子体光谱时间演化 | 第32-34页 |
| ·Gd纳米粒子掺杂玻璃靶等离子体光谱时间演化 | 第34-35页 |
| ·Gd纳米粒子掺杂玻璃靶等离子体参数诊断 | 第35-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 总结与展望 | 第43-45页 |
| ·总结 | 第43页 |
| ·展望 | 第43-45页 |
| 致谢 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-49页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第49页 |
