| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-26页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·CZTS薄膜太阳能电池的结构 | 第10-11页 |
| ·CZTS薄膜制备方法 | 第11-17页 |
| ·CZTS薄膜中杂相及其对电池性能的影响 | 第17-20页 |
| ·CZTS薄膜微观组织结构及其对电池性能的影响 | 第20-23页 |
| ·Se掺杂对CZTS薄膜微观组织结构及电池性能的影响 | 第23-24页 |
| ·选题的科学依据及意义 | 第24-26页 |
| 2 实验方案 | 第26-28页 |
| ·研究计划 | 第26页 |
| ·实验研究所需设备 | 第26页 |
| ·实验样品的制备 | 第26-28页 |
| 3 共溅射法制备CZTS薄膜相组成、微观组织结构及光学性能研究 | 第28-58页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·Cu靶制备CZTS薄膜 | 第28-39页 |
| ·Cu、ZnS和SnS_2靶材的溅射速率与功率匹配关系 | 第28-31页 |
| ·Cu含量对CZTS薄膜的相组成及微观结构的影响 | 第31-36页 |
| ·硫化热处理对CZTS薄膜相组成及微观结构的影响 | 第36-39页 |
| ·Cu2S靶制备CZTS薄膜 | 第39-53页 |
| ·Zn含量对CZTS薄膜相组成及微观结构的影响 | 第39-41页 |
| ·硫化处理对CZTS薄膜的相组成、微观结构及性能的影响 | 第41-48页 |
| ·溅射气压对CZTS薄膜相组成、微观结构及光学性能的影响 | 第48-51页 |
| ·基底温度对CZTS薄膜的相组成、微观结构及光学性能的影响 | 第51-53页 |
| ·前驱体中硫含量对CZTS薄膜相组成、微观组织结构的影响 | 第53-56页 |
| ·小结 | 第56-58页 |
| 4 共溅射法制备CZTSe薄膜相组成、微观组织结构及光学性能研究 | 第58-64页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·溅射气压对CZTSe薄膜的相组成、微观结构及光学性能的影响 | 第58-60页 |
| ·基底温度对CZTSe薄膜的相组成、微观结构及光学性能的影响 | 第60-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 5 共溅射法制备CZTSSe薄膜相组成、微观组织结构及光学性能研究 | 第64-76页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·M(S_xSe_(1-x))_y靶溅射功率匹配关系 | 第64-66页 |
| ·溅射气压对CZTSSe薄膜的相组成、微观结构及光学性能的影响 | 第66-69页 |
| ·基底温度对CZTSSe薄膜的相组成、微观结构及光学性能的影响 | 第69-72页 |
| ·硒硫比对CZTSSe薄膜相结构及光学性能的影响 | 第72-75页 |
| ·小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-84页 |
| 攻读硕士期间取得的学术成果 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
