| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·本课题的研究背景 | 第10-11页 |
| ·黑硅材料的简介 | 第11-12页 |
| ·黑硅材料的发现 | 第11页 |
| ·黑硅材料的吸收特性及应用 | 第11-12页 |
| ·黑硅材料制备的研究现状 | 第12-21页 |
| ·黑硅材料的制备方法 | 第12-17页 |
| ·国内外研究进展 | 第17-21页 |
| ·本论文的研究意义 | 第21页 |
| ·本论文研究的主要内容 | 第21-24页 |
| 第2章 酸溶液中黑硅的飞秒激光制备 | 第24-30页 |
| ·锥形尖峰的形成机制 | 第24-25页 |
| ·激光烧蚀 | 第24页 |
| ·气体挥发 | 第24-25页 |
| ·强吸收机制的讨论 | 第25-27页 |
| ·多次反射 | 第25-26页 |
| ·引入杂质能级和缺陷能级 | 第26-27页 |
| ·硫酸溶液中飞秒激光制备黑硅的优缺点 | 第27-28页 |
| ·硫酸溶液中制备黑硅的优点 | 第27页 |
| ·硫酸溶液中制备黑硅的缺点 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 碱溶液中飞秒激光制备黑硅的优越性及实验方案 | 第30-36页 |
| ·飞秒激光制备黑硅的优越性 | 第30-32页 |
| ·飞秒激光加工的优点 | 第30-31页 |
| ·实验参数的影响 | 第31-32页 |
| ·碱溶液中制备黑硅的优越性 | 第32-35页 |
| ·碱与硅的各向异性腐蚀 | 第32-34页 |
| ·实验参数的影响 | 第34-35页 |
| ·碱溶液中飞秒激光制备黑硅的实验方案 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 碱溶液中黑硅的飞秒激光制备 | 第36-44页 |
| ·碱溶液中黑硅制备的实验 | 第36-38页 |
| ·实验设计与装置 | 第36-37页 |
| ·样品处理及实验方案 | 第37-38页 |
| ·实验结果及分析 | 第38-43页 |
| ·黑硅表面微纳结构的形貌分析 | 第38-40页 |
| ·黑硅丛林状尖峰结构高度的测试分析 | 第40-42页 |
| ·黑硅反射率的测试分析 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 实验参数对黑硅的影响 | 第44-50页 |
| ·扫描速度对黑硅材料反射率的影响 | 第44-45页 |
| ·飞秒激光脉冲能量对丛林状尖峰结构高度的影响 | 第45-47页 |
| ·飞秒激光脉冲能量对黑硅材料反射率的影响 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 结论与展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 攻读硕士期间完成的学术论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |