| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·研究目的和意义 | 第10-11页 |
| ·PZT 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·PZT 的结构与制备 | 第11-12页 |
| ·PZT 的性能 | 第12-14页 |
| ·CCTO 国内外研究现状 | 第14-20页 |
| ·CCTO 的结构与制备 | 第14-16页 |
| ·CCTO 的性能 | 第16-20页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 材料制备及研究方法 | 第21-26页 |
| ·PZT 和CCTO 溶胶的配制 | 第21-22页 |
| ·PZT 溶胶的配制 | 第21页 |
| ·CCTO 溶胶的配制 | 第21-22页 |
| ·PZT 和CCTO 薄膜及其复合多层薄膜的制备 | 第22-25页 |
| ·试样材料制备 | 第22页 |
| ·制备复合薄膜的设备 | 第22-23页 |
| ·复合薄膜制备工艺参数 | 第23-24页 |
| ·复合薄膜制备流程 | 第24-25页 |
| ·分析方法 | 第25-26页 |
| ·X 射线衍射物相分析 | 第25页 |
| ·X 射线衍射织构度分析 | 第25页 |
| ·薄膜SEM 形貌观察 | 第25页 |
| ·薄膜介电性能测量 | 第25页 |
| ·薄膜铁电性能测量 | 第25-26页 |
| 第3章 单层CCTO 和PZT 薄膜结构与性能表征 | 第26-43页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·PZT 薄膜结构分析 | 第26-31页 |
| ·PZT 薄膜厚度表征 | 第26-27页 |
| ·PZT 薄膜的相结构 | 第27-29页 |
| ·PZT 薄膜的织构 | 第29-31页 |
| ·PZT 薄膜性能测试 | 第31-36页 |
| ·PZT 薄膜的铁电性能 | 第32-33页 |
| ·PZT 薄膜的介电性能 | 第33-34页 |
| ·PZT 薄膜的漏电流 | 第34-36页 |
| ·CCTO 薄膜结构分析 | 第36-39页 |
| ·前驱体浓度对CCTO 薄膜厚度的影响 | 第36-37页 |
| ·前驱体浓度对CCTO 薄膜相结构的影响 | 第37-38页 |
| ·CCTO 薄膜织构分析 | 第38-39页 |
| ·CCTO 薄膜性能测试 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 PZT/CCTO 复合多层薄膜的结构分析 | 第43-53页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·PZT/CCTO 叠层结构薄膜的相组成 | 第43-47页 |
| ·CCTO 前驱体浓度对PZT/CCTO 叠层结构薄膜相组成的影响 | 第43-44页 |
| ·晶化温度对PZT/CCTO 叠层结构薄膜相组成的影响 | 第44-46页 |
| ·CCTO 夹层厚度对PZT/CCTO 三层结构薄膜相组成的影响 | 第46-47页 |
| ·La 掺杂PZT/CCTO 叠层结构薄膜的相组成 | 第47-49页 |
| ·复合多层膜SEM 形貌观察 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第5章 PZT/CCTO 复合多层薄膜电性能研究 | 第53-68页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·PZT/CCTO 复合多层薄膜铁电性能 | 第53-59页 |
| ·CCTO 不同前驱体浓度的复合多层薄膜铁电性能 | 第53-55页 |
| ·不同晶化温度的复合多层薄膜铁电性能 | 第55-57页 |
| ·CCTO 厚度调制复合多层薄膜铁电性能 | 第57-58页 |
| ·PZT/CCTO 复合薄膜的漏电流 | 第58-59页 |
| ·PZT/CCTO 复合多层薄膜的介电性能 | 第59-63页 |
| ·CCTO 不同前驱体浓度的复合多层薄膜介电性能 | 第59-60页 |
| ·不同晶化温度的复合多层薄膜介电性能 | 第60-62页 |
| ·CCTO 薄膜厚度调制复合多层薄膜介电性能 | 第62-63页 |
| ·PZT/CCTO/PZT 硬电现象机理研究 | 第63-64页 |
| ·PZT/CCTO 复合多层薄膜的热释电性能 | 第64-66页 |
| ·PLZT/CCTO 复合多层薄膜的电性能 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
