摘要 | 第1-7页 |
ABSTRACT | 第7-12页 |
第一章 绪论 | 第12-22页 |
·电镀铜的应用及发展 | 第12-13页 |
·酸性硫酸盐光亮镀铜的应用及发展 | 第13-14页 |
·添加剂及其作用机理的研究概况 | 第14-16页 |
·电镀过程概述 | 第16-17页 |
·获得良好镀层的条件 | 第17-18页 |
·电场强度 | 第17页 |
·电极表面的状态 | 第17页 |
·配位离子形态和结构 | 第17-18页 |
·配位离子的传输速度 | 第18页 |
·添加剂 | 第18页 |
·酸性镀铜中现代技术的应用 | 第18-19页 |
·超声波除油 | 第18-19页 |
·脉冲电镀 | 第19页 |
·本课题的研究意义和目的 | 第19-22页 |
·研究意义 | 第19页 |
·研究目的 | 第19-22页 |
第二章 全光亮酸性镀铜工艺的研究 | 第22-40页 |
·实验内容 | 第22页 |
·实验所用的主要试剂和设备 | 第22-23页 |
·全光亮酸性镀铜工艺流程 | 第23页 |
·镀层性能的测试与评定 | 第23-24页 |
·镀层外观等级的测试与评定 | 第23页 |
·镀层的厚度的测试与评定 | 第23-24页 |
·镀层结合强度的测试 | 第24页 |
·镀液性能的测试与评定 | 第24页 |
·镀前处理的重要性及其对电镀结果的影响 | 第24-26页 |
·镀前处理的重要性 | 第24-25页 |
·镀前处理对电镀结果的影响 | 第25-26页 |
·实验基本成分对镀层的作用及影响 | 第26-27页 |
·五水硫酸铜的作用及影响 | 第26-27页 |
·硫酸的作用及影响 | 第27页 |
·氯离子的作用及影响 | 第27页 |
·添加剂的对镀层的作用及影响 | 第27-29页 |
·添加剂的分类 | 第28页 |
·本研究所用添加剂对镀层的作用及影响 | 第28-29页 |
·阳极含磷量对镀层的影响 | 第29-30页 |
·其它操作条件对镀层的影响 | 第30页 |
·温度对镀层的影响 | 第30页 |
·电流密度对镀层的影响 | 第30页 |
·搅拌强度对镀层的影响 | 第30页 |
·添加剂的种类和添加量以及工艺参数的确定 | 第30-39页 |
·五水硫酸铜添加量的确定 | 第30-31页 |
·硫酸添加量的确定 | 第31页 |
·氯化钠添加量的确定 | 第31-32页 |
·噻唑啉基二硫代丙烷磺酸钠(SH110)添加量的确定 | 第32页 |
·酸铜强整平剂(POSS)的添加量的确定 | 第32-33页 |
·醇硫基丙烷磺酸钠(HP)添加量的确定 | 第33页 |
·聚乙烯亚胺烷基盐(PN)的添加量的确定 | 第33-34页 |
·聚乙烯亚胺烷基化合物(GISS)添加量的确定 | 第34页 |
·琥珀酸酯钠盐(MT-200)添加量的确定 | 第34页 |
·聚乙二醇6000(P)添加量的确定 | 第34-35页 |
·自选 J 型添加剂添加量的确定 | 第35页 |
·甲基紫添加量的确定 | 第35-36页 |
·二甲基甲酰胺基磺酸钠(TPS)添加量的确定 | 第36页 |
·聚二硫二丙烷磺酸钠(SP)添加量的确定 | 第36-37页 |
·聚丙二醇添加量的确定 | 第37页 |
·电流密度范围的确定 | 第37-38页 |
·温度范围的确定 | 第38页 |
·时间对镀层厚度的影响 | 第38-39页 |
·本章小结 | 第39-40页 |
第三章 镀层和镀液的性能测试 | 第40-52页 |
·镀层性能测试 | 第40-44页 |
·镀层外观检测 | 第40-42页 |
·镀层结合力检测 | 第42-43页 |
·镀层厚度检测 | 第43页 |
·镀液性能检测 | 第43-44页 |
·添加剂的极化曲线分析 | 第44-51页 |
·极化曲线及其原理 | 第44页 |
·各种添加剂的极化曲线 | 第44-49页 |
·国内走位剂、自选 J 型添加剂、国外走位剂的极化曲线比较 | 第49-51页 |
·本章小结 | 第51-52页 |
第四章 全光亮酸性镀铜的故障及处理方法 | 第52-56页 |
·镀层边缘有烧焦或毛刺 | 第52页 |
·镀层发花或发雾 | 第52页 |
·低电流密度区镀层不亮 | 第52-53页 |
·电镀时电压上升,电流降低 | 第53-54页 |
·镀层粗糙 | 第54页 |
·镀层光亮但有针孔 | 第54页 |
·镀层上有麻点 | 第54页 |
·镀层上有树枝状花纹 | 第54-55页 |
·镀层结合力差 | 第55-56页 |
第五章 结论与展望 | 第56-58页 |
·全文总结 | 第56页 |
·本文创新点 | 第56页 |
·展望 | 第56-58页 |
参考文献 | 第58-60页 |
致谢 | 第60-62页 |
附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第62页 |