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全光亮酸性镀铜工艺研究

摘要第1-7页
ABSTRACT第7-12页
第一章 绪论第12-22页
   ·电镀铜的应用及发展第12-13页
   ·酸性硫酸盐光亮镀铜的应用及发展第13-14页
   ·添加剂及其作用机理的研究概况第14-16页
   ·电镀过程概述第16-17页
   ·获得良好镀层的条件第17-18页
     ·电场强度第17页
     ·电极表面的状态第17页
     ·配位离子形态和结构第17-18页
     ·配位离子的传输速度第18页
     ·添加剂第18页
   ·酸性镀铜中现代技术的应用第18-19页
     ·超声波除油第18-19页
     ·脉冲电镀第19页
   ·本课题的研究意义和目的第19-22页
     ·研究意义第19页
     ·研究目的第19-22页
第二章 全光亮酸性镀铜工艺的研究第22-40页
   ·实验内容第22页
   ·实验所用的主要试剂和设备第22-23页
   ·全光亮酸性镀铜工艺流程第23页
   ·镀层性能的测试与评定第23-24页
     ·镀层外观等级的测试与评定第23页
     ·镀层的厚度的测试与评定第23-24页
     ·镀层结合强度的测试第24页
   ·镀液性能的测试与评定第24页
   ·镀前处理的重要性及其对电镀结果的影响第24-26页
     ·镀前处理的重要性第24-25页
     ·镀前处理对电镀结果的影响第25-26页
   ·实验基本成分对镀层的作用及影响第26-27页
     ·五水硫酸铜的作用及影响第26-27页
     ·硫酸的作用及影响第27页
     ·氯离子的作用及影响第27页
   ·添加剂的对镀层的作用及影响第27-29页
     ·添加剂的分类第28页
     ·本研究所用添加剂对镀层的作用及影响第28-29页
   ·阳极含磷量对镀层的影响第29-30页
   ·其它操作条件对镀层的影响第30页
     ·温度对镀层的影响第30页
     ·电流密度对镀层的影响第30页
     ·搅拌强度对镀层的影响第30页
   ·添加剂的种类和添加量以及工艺参数的确定第30-39页
     ·五水硫酸铜添加量的确定第30-31页
     ·硫酸添加量的确定第31页
     ·氯化钠添加量的确定第31-32页
     ·噻唑啉基二硫代丙烷磺酸钠(SH110)添加量的确定第32页
     ·酸铜强整平剂(POSS)的添加量的确定第32-33页
     ·醇硫基丙烷磺酸钠(HP)添加量的确定第33页
     ·聚乙烯亚胺烷基盐(PN)的添加量的确定第33-34页
     ·聚乙烯亚胺烷基化合物(GISS)添加量的确定第34页
     ·琥珀酸酯钠盐(MT-200)添加量的确定第34页
     ·聚乙二醇6000(P)添加量的确定第34-35页
     ·自选 J 型添加剂添加量的确定第35页
     ·甲基紫添加量的确定第35-36页
     ·二甲基甲酰胺基磺酸钠(TPS)添加量的确定第36页
     ·聚二硫二丙烷磺酸钠(SP)添加量的确定第36-37页
     ·聚丙二醇添加量的确定第37页
     ·电流密度范围的确定第37-38页
     ·温度范围的确定第38页
     ·时间对镀层厚度的影响第38-39页
   ·本章小结第39-40页
第三章 镀层和镀液的性能测试第40-52页
   ·镀层性能测试第40-44页
     ·镀层外观检测第40-42页
     ·镀层结合力检测第42-43页
     ·镀层厚度检测第43页
     ·镀液性能检测第43-44页
   ·添加剂的极化曲线分析第44-51页
     ·极化曲线及其原理第44页
     ·各种添加剂的极化曲线第44-49页
     ·国内走位剂、自选 J 型添加剂、国外走位剂的极化曲线比较第49-51页
   ·本章小结第51-52页
第四章 全光亮酸性镀铜的故障及处理方法第52-56页
   ·镀层边缘有烧焦或毛刺第52页
   ·镀层发花或发雾第52页
   ·低电流密度区镀层不亮第52-53页
   ·电镀时电压上升,电流降低第53-54页
   ·镀层粗糙第54页
   ·镀层光亮但有针孔第54页
   ·镀层上有麻点第54页
   ·镀层上有树枝状花纹第54-55页
   ·镀层结合力差第55-56页
第五章 结论与展望第56-58页
   ·全文总结第56页
   ·本文创新点第56页
   ·展望第56-58页
参考文献第58-60页
致谢第60-62页
附录 攻读硕士学位期间发表的论文第62页

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