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激光(1.064μm)/红外(3~5μm)光学系统中滤光膜技术的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-25页
   ·引言第10-12页
   ·几种窗口材料的对比第12-15页
   ·膜系的优化方法第15-18页
     ·遗传算法模型的建立第15-16页
     ·算法中数学模型的建立第16-18页
   ·红外光学材料的力学与热学性质第18-21页
   ·透过率和吸收系数及与温度的关系第21-25页
第二章 蓝宝石单晶的高温强度第25-35页
   ·温度对蓝宝石强度的影响第25-30页
   ·蓝宝石高温强度的改善第30-35页
     ·热处理增加蓝宝石的高温强度第30-31页
     ·增加晶体缺陷提高蓝宝石高温强度第31-33页
     ·中子辐照提高压缩强度第33-35页
第三章 薄膜的表征第35-46页
   ·扫描电子显微镜(SEM)分析第35-36页
   ·原子力显微镜(AFM)分析第36-37页
   ·X射线衍射(XRD)分析第37-38页
   ·傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析第38-40页
   ·激光拉曼光谱(Raman)分析第40-42页
   ·X射线光电子能谱分析第42-44页
   ·俄歇电子能谱(AES)分析第44-46页
第四章 工艺参数对薄膜材料特性的影响第46-69页
   ·二氧化硅薄膜的制备第47-49页
   ·沉积工艺对SiO_2薄膜特性的影响第49-59页
     ·沉积工艺参数对SiO_2薄膜附着力的影响第49-51页
     ·沉积工艺对SiO_2沉积速率的影响第51-54页
     ·工艺参数对SiO_2薄膜的内应力的影响第54-59页
   ·二氧化钛薄膜的制备第59-63页
     ·主要工艺参数对TiO_2薄膜折射率的影响第60-62页
     ·沉积时间对表面形貌的影响第62-63页
   ·氧化铝保护膜的制备第63-68页
     ·氧化铝薄膜的生长第63-64页
     ·氧化铝薄膜的特性第64-68页
   ·本章小结第68-69页
第五章 激光红外光学系统增透保护膜的设计与制备第69-86页
   ·Dome上薄膜均匀性的研究第69-74页
   ·利用透射率和反射率计算计算薄膜的光学常数第74-77页
   ·薄膜材料折射率的计算第77-79页
   ·增透保护膜的设计与制备第79-82页
   ·测试结果与分析第82-85页
   ·本章小结第85-86页
第六章 镀膜对蓝宝石强度的改善第86-92页
   ·固体材料的理论断裂强度第86-88页
   ·镀膜前后蓝宝石的强度测试第88-92页
     ·试验后薄膜成分的测试第89-90页
     ·其他性能的测试第90-92页
总结第92-93页
致谢第93-94页
创新点第94-95页
参考文献第95-99页
攻读博士期间取得的成绩第99页

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