微波CVD法制备高质量金刚石颗粒

摘要	第1-7页
Abstract	第7-13页
第1章 绪论	第13-35页
·引言	第13-16页
·金刚石的结构	第13-14页
·单晶金刚石的制备方法	第14-16页
·同质基底上单晶金刚石的研究状况	第16-23页
·金刚石基底预处理对生长的影响	第16-17页
·沉积参数对生长的影响	第17-19页
·改进工艺对生长的影响	第19-22页
·获得大尺寸单晶金刚石的两种方法	第22-23页
·异质基底上金刚石颗粒的研究状况	第23-29页
·大金刚石颗粒的整体研究情况	第24-25页
·大金刚石颗粒的生长	第25-29页
·金刚石晶面的显露	第29-33页
·甲烷浓度和基底温度的影响	第30-31页
·N2和 O2(含氧种类)加入的影响	第31页
·基底负偏压的影响	第31-32页
·其他参数的影响	第32页
·(100)面的显露机理	第32-33页
·本论文的主要内容	第33-35页
第2章 实验装置和表征手段	第35-39页
·实验装置	第35-37页
·金刚石膜的表征方法	第37-39页
·扫描电子显微镜	第37-38页
·激光拉曼光谱	第38-39页
第3章 高质量金刚石颗粒的生长	第39-59页
·(100)取向金刚石膜的制备研究	第40-44页
·金刚石膜的生长条件	第40-41页
·结果和讨论	第41-44页
·不同 O2流量对金刚石形核影响的研究	第44-46页
·金刚石颗粒的生长	第46-55页
·金刚石颗粒的生长条件	第47页
·对金刚石颗粒的表征	第47-51页
·对金刚石颗粒生长的宏观解释	第51-53页
·对金刚石颗粒生长的微观解释	第53-55页
·结果对比	第55-59页
第4章 结论	第59-63页
参考文献	第63-75页
攻读硕士期间已经发表的论文	第75-77页
致谢	第77页