| 中文摘要 | 第1-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-33页 |
| ·超硬薄膜研究进展 | 第11-18页 |
| ·本征超硬薄膜 | 第11-13页 |
| ·超晶格结构薄膜 | 第13-14页 |
| ·纳米复合薄膜 | 第14-18页 |
| ·多层、梯度薄膜研究进展 | 第18-20页 |
| ·多层薄膜 | 第18-19页 |
| ·梯度薄膜 | 第19-20页 |
| ·nc-TiN/a-Si_3N_4纳米复合超硬薄膜的制备方法研究进展 | 第20-25页 |
| ·物理气相沉积 | 第21-24页 |
| ·化学气相沉积 | 第24-25页 |
| ·论文的选题依据、研究思路和研究内容 | 第25-27页 |
| 参考文献 | 第27-33页 |
| 第二章 nc-TiN/a-Si_3N_4纳米复合薄膜的制备与机械性能研究 | 第33-47页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·实验部分 | 第33-35页 |
| ·薄膜结构表征 | 第35-36页 |
| ·薄膜的机械性能表征 | 第36页 |
| ·结果与讨论 | 第36-41页 |
| ·形貌与元素含量分析 | 第36-38页 |
| ·X射线衍射(XRD)分析 | 第38页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第38-39页 |
| ·薄膜纳米硬度和弹性模量测试 | 第39-40页 |
| ·膜基结合强度测试 | 第40页 |
| ·摩擦学性能测试 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-47页 |
| 第三章 基底负偏压对nc-TiN/a-Si_3N_4纳米复合薄膜结构和性能的影响 | 第47-63页 |
| ·引言 | 第47-48页 |
| ·实验部分 | 第48-49页 |
| ·薄膜性能表征 | 第49-50页 |
| ·薄膜成分、结构表征 | 第49-50页 |
| ·薄膜机械性能表征 | 第50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-57页 |
| ·成分和沉积速率 | 第50-52页 |
| ·X射线衍射(XRD)和内应力分析 | 第52-53页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第53-54页 |
| ·TEM分析 | 第54-55页 |
| ·薄膜纳米硬度测试 | 第55-56页 |
| ·膜基结合强度 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 第四章 nc-TiN/a-Si_3N_4纳米复合梯度薄膜的制备与性能研究 | 第63-77页 |
| ·引言 | 第63-64页 |
| ·实验部分 | 第64-66页 |
| ·薄膜性能表征 | 第66-67页 |
| ·薄膜形貌及结构表征 | 第66页 |
| ·薄膜机械性能表征 | 第66-67页 |
| ·结果与讨论 | 第67-73页 |
| ·薄膜形貌 | 第67-69页 |
| ·薄膜结构表征 | 第69-70页 |
| ·薄膜纳米硬度表征 | 第70-71页 |
| ·薄膜膜基结合强度表征 | 第71-72页 |
| ·薄膜摩擦学性能表征 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 第五章 结束语 | 第77-79页 |
| ·主要结论 | 第77页 |
| ·问题与展望 | 第77-79页 |
| 硕士期间完成的论文 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
