| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题背景和意义 | 第9页 |
| ·微驱动器技术的发展现状 | 第9-17页 |
| ·静电微驱动器 | 第10页 |
| ·压电式微驱动器 | 第10-11页 |
| ·磁致伸缩式微驱动器 | 第11-12页 |
| ·机械化学驱动微驱动器 | 第12页 |
| ·渗透驱动微驱动器 | 第12-13页 |
| ·生物能源微驱动器 | 第13-14页 |
| ·电磁微驱动器 | 第14-17页 |
| ·论文的主要研究内容和组织结构 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 基于Halbach永磁结构的电磁微驱动器的结构与原理 | 第19-27页 |
| ·电磁微驱动器的整体设计 | 第19-20页 |
| ·电磁微驱动器的部件组成 | 第20-23页 |
| ·永磁阵列 | 第20页 |
| ·导线阵列 | 第20-21页 |
| ·外围机械固定、传动装置 | 第21-23页 |
| ·电磁微驱动器工作原理 | 第23-25页 |
| ·电磁微驱动器力的解耦 | 第23-24页 |
| ·电磁微驱动器磁场对应原理 | 第24-25页 |
| ·电磁微驱动器局部磁场微调原理 | 第25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 电磁微驱动器的建模与理论分析 | 第27-48页 |
| ·等效电流法的数学建模与计算 | 第27-29页 |
| ·电磁微驱动器永磁阵列三维磁场数学建模与计算 | 第29-37页 |
| ·面对角线平行方向充磁永磁体的磁场分析 | 第29-34页 |
| ·垂直方向充磁永磁体的磁场分析 | 第34-37页 |
| ·电磁微驱动器导线阵列三维磁场数学建模与计算 | 第37-38页 |
| ·解析法计算结果 | 第38-45页 |
| ·永磁阵理论解析法与实际测量值结果对比 | 第39-43页 |
| ·导线阵列理论解析法结果 | 第43-45页 |
| ·电磁微驱动器受力分析 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 电磁微驱动器参数化有限元分析 | 第48-74页 |
| ·电磁场问题的有限元基础 | 第48页 |
| ·有限元仿真计算步骤 | 第48-52页 |
| ·建立几何模型 | 第49页 |
| ·材料分配 | 第49-50页 |
| ·边界条件 | 第50-51页 |
| ·激励源与网格剖分 | 第51页 |
| ·有限元后处理 | 第51-52页 |
| ·永磁阵列有限元分析 | 第52-67页 |
| ·二对 N、S 极与混合方向充磁永磁阵列有限元分析 | 第52-55页 |
| ·二对 N、S 极与铁块混合永磁阵列有限元分析 | 第55-58页 |
| ·二对 N、S 斜极分布永磁阵列有限元分析 | 第58-60页 |
| ·Ki m 改进结构永磁阵列有限元分析 | 第60-67页 |
| ·导线阵列有限元分析 | 第67-71页 |
| ·模型建立 | 第67-68页 |
| ·仿真结果与后处理 | 第68-71页 |
| ·合成磁场分析 | 第71-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 电磁微驱动器实验研究 | 第74-87页 |
| ·实验系统构成 | 第74-83页 |
| ·永磁阵列和导线阵列 | 第74-78页 |
| ·位移检测装置 | 第78-81页 |
| ·数据采集卡 | 第81-82页 |
| ·驱动电路 | 第82-83页 |
| ·实验结果与数据分析 | 第83-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 第六章 总结与展望 | 第87-89页 |
| ·论文的创新点 | 第87页 |
| ·工作总结 | 第87-88页 |
| ·展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第94页 |