子孔径拼接中系统误差修正方法的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-12页 |
| ·课题的背景以及意义 | 第7页 |
| ·课题的国内外研究现状 | 第7-11页 |
| ·子孔径拼接技术的研究现状 | 第7-9页 |
| ·绝对检验技术的研究现状 | 第9-11页 |
| ·本论文主要研究工作 | 第11-12页 |
| 2 子孔径拼接测试原理和误差分析 | 第12-17页 |
| ·子孔径拼接的基本原理 | 第12-14页 |
| ·子孔径拼接中误差的分析 | 第14-16页 |
| ·子孔径的拼接误差 | 第14-15页 |
| ·面形测量中系统误差放大效应 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 3 特征轴上的三面互检 | 第17-26页 |
| ·三面互检法和平晶平面度 | 第17-20页 |
| ·三面互检原理 | 第17-19页 |
| ·平晶平面度的检定 | 第19-20页 |
| ·三面互检的误差控制 | 第20-21页 |
| ·特征轴与平晶像散轴方向的校准 | 第21-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 4 标准平晶系统误差波面的构建 | 第26-33页 |
| ·Zernike多项式拟合法 | 第26-28页 |
| ·系统误差波面拟合系数的推导 | 第28-30页 |
| ·拟合精度的仿真分析 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 5 软件设计和实验测量 | 第33-49页 |
| ·三面互检程序设计和实验 | 第33-41页 |
| ·Matlab编译设置和动态链接库的创建 | 第34-36页 |
| ·VC工程设置和界面的设计 | 第36-39页 |
| ·实验装置以及步骤 | 第39-40页 |
| ·实验数据处理 | 第40-41页 |
| ·子孔径拼接测量及其系统误差的实时修正 | 第41-48页 |
| ·子孔径拼接实验装置 | 第42-43页 |
| ·拼接干涉仪数据处理软件 | 第43-46页 |
| ·实验数据处理 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 6 总结和展望 | 第49-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-53页 |
