CVD金刚石膜的高速机械研磨机理
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-21页 |
| ·课题研究的背景 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-19页 |
| ·研磨技术的简介 | 第13页 |
| ·金刚石膜的性质 | 第13-14页 |
| ·CVD 金刚石膜的抛光技术 | 第14-19页 |
| ·课题研究的意义及主要内容 | 第19-20页 |
| ·课题研究的意义 | 第19页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第2章 树脂结合剂金刚石砂轮的有限元分析 | 第21-31页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·金刚石砂轮与复合材料的简介 | 第21页 |
| ·有限元简介 | 第21-22页 |
| ·有限元的基本思想 | 第21-22页 |
| ·有限元法的应用特点 | 第22页 |
| ·ANSYS 软件的基本步骤 | 第22页 |
| ·树脂结合剂金刚石砂轮材料特性的有限元分析 | 第22-27页 |
| ·材料模型的建立 | 第22-24页 |
| ·单元类型及材料特性 | 第24页 |
| ·划分网格 | 第24-25页 |
| ·载荷和约束 | 第25页 |
| ·有限元计算结果 | 第25-26页 |
| ·弹性模量和泊松比的计算 | 第26-27页 |
| ·砂轮的粒度及浓度对材料特性的影响 | 第27-30页 |
| ·浓度对金刚石砂轮的影响 | 第27-29页 |
| ·粒度对金刚石砂轮的影响 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 CVD 金刚石膜温度场的有限元分析 | 第31-47页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·有限元模型的建立 | 第31-34页 |
| ·几何模型的确定 | 第31-32页 |
| ·单元类型的选择 | 第32页 |
| ·材料的特性 | 第32-34页 |
| ·网格划分 | 第34页 |
| ·温度场的求解 | 第34-35页 |
| ·参数的确定 | 第34页 |
| ·施加位移约束和载荷 | 第34-35页 |
| ·进行求解 | 第35页 |
| ·计算结果与分析 | 第35-45页 |
| ·只有砂轮高速旋转时的温度场分布 | 第35-39页 |
| ·砂轮与金刚石膜同向转动时的温度场分布 | 第39-42页 |
| ·砂轮与金刚石膜反向转动时的温度场分布 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 CVD 金刚石膜的高速机械研磨实验 | 第47-77页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·实验 | 第47-54页 |
| ·实验条件 | 第47-53页 |
| ·研磨实验方案 | 第53-54页 |
| ·工艺参数对研磨 CVD 金刚石膜的影响 | 第54-69页 |
| ·研磨线速度对研磨的影响 | 第54-60页 |
| ·压力对研磨的影响 | 第60-66页 |
| ·时间对研磨的影响 | 第66-69页 |
| ·CVD 金刚石膜研磨的去除过程及机理分析 | 第69-76页 |
| ·CVD 金刚石膜研磨的去除过程分析 | 第69-71页 |
| ·表面质量分析 | 第71-73页 |
| ·金刚石膜研磨机理分析 | 第73-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 结论 | 第77-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
