| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·锗红外光学窗口的兼具除霜功能的增透保护膜的研究现状 | 第9页 |
| ·太阳能电池的研究现状 | 第9-10页 |
| ·非晶金刚石薄膜的概述 | 第10-14页 |
| ·制备方法 | 第11页 |
| ·结构表征 | 第11-12页 |
| ·力学性能及应用 | 第12-13页 |
| ·光学性能及应用 | 第13-14页 |
| ·电学性能及应用 | 第14页 |
| ·掺氮非晶金刚石薄膜的概述 | 第14-19页 |
| ·本课题主要研究的内容 | 第19-20页 |
| 第2章 ta-C:N 薄膜的制备及试验方法 | 第20-26页 |
| ·ta-C:N 薄膜的制备 | 第20-23页 |
| ·试验材料 | 第20页 |
| ·沉积系统 | 第20-21页 |
| ·掺杂方式 | 第21-22页 |
| ·工艺参数 | 第22-23页 |
| ·表征方法和测试手段 | 第23-24页 |
| ·Raman 光谱分析 | 第23页 |
| ·X 射线光电子能谱（XPS）分析 | 第23-24页 |
| ·傅立叶红外光谱（FTIR）分析 | 第24页 |
| ·光学性能测试 | 第24页 |
| ·电学性能测试 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-26页 |
| 第3章 ta-C:N 薄膜的结构表征和性能测试 | 第26-43页 |
| ·XPS 分析 | 第26-31页 |
| ·Raman 光谱分析 | 第31-37页 |
| ·傅立叶红外投射光谱（FTIR）分析 | 第37-38页 |
| ·紫外可见光分光计分析 | 第38-39页 |
| ·电学性能分析 | 第39-41页 |
| ·电阻率测试 | 第39-40页 |
| ·PN 结特性曲线测试 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第4章 除霜增透保护膜和太阳能电池的制备与测试 | 第43-49页 |
| ·锗红外光学窗口兼具除霜功能的增透保护膜的设计和制备 | 第43-45页 |
| ·除霜增透保护膜窗口设计思路 | 第43-44页 |
| ·膜系设计 | 第44页 |
| ·膜系制备 | 第44-45页 |
| ·薄膜的增透和除霜效果测试 | 第45-46页 |
| ·碳基薄膜太阳能电池的制备和测试 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-57页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 个人简历 | 第60页 |