硅表面功能化结构制造技术及实验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题背景 | 第9-10页 |
| ·基于分子自组装的纳米制造技术 | 第10-14页 |
| ·分子自组装膜 | 第10-13页 |
| ·硅表面分子自组装 | 第13-14页 |
| ·机械及化学方法制备功能化纳米结构的研究现状 | 第14-16页 |
| ·基于AFM 的纳米刻蚀术 | 第14-15页 |
| ·其它刻蚀术 | 第15-16页 |
| ·硅表面功能化自组装膜及其性质 | 第16-18页 |
| ·自组装膜的纳米机械摩擦性能检测 | 第16-17页 |
| ·硅表面自组装膜的功能化 | 第17-18页 |
| ·课题来源及研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 反应机理分析与微加工系统的建立 | 第19-28页 |
| ·可控自组装反应机理分析 | 第19-23页 |
| ·氧终止与氢终止的硅表面 | 第19-20页 |
| ·硅表面自组装膜形成机理 | 第20-23页 |
| ·微加工系统的建立 | 第23-26页 |
| ·三维精密微动工作台 | 第25页 |
| ·三维手动工作台 | 第25-26页 |
| ·微测力仪系统 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 硅表面可控自组装膜制造技术研究 | 第28-53页 |
| ·实验设备及材料 | 第28-29页 |
| ·实验设备 | 第28页 |
| ·实验基片 | 第28页 |
| ·实验药品及试剂 | 第28-29页 |
| ·实验方法 | 第29-34页 |
| ·硅片的预处理 | 第30-31页 |
| ·芳香烃重氮盐溶液的配制 | 第31-32页 |
| ·利用CCD 放大系统和微测力仪对刀 | 第32-33页 |
| ·微加工结束后的处理 | 第33-34页 |
| ·对硅表面自组装膜的检测与表征 | 第34-46页 |
| ·用原子力显微镜对自组装膜进行表征 | 第34-35页 |
| ·用X 射线光电子能谱对组装膜的检测 | 第35-43页 |
| ·红外光谱对组装膜的检测 | 第43-46页 |
| ·影响硅表面自组装膜质量的多因素分析 | 第46-52页 |
| ·不同切削刀具对成膜质量的影响 | 第46-47页 |
| ·切削力对表面加工质量的影响 | 第47-48页 |
| ·刀具刻划速度对表面加工质量的影响 | 第48-49页 |
| ·组装时间对自组装膜的影响 | 第49-50页 |
| ·溶液浓度对自组装膜质量的影响 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 硅表面自组装结构的纳米机械性能检测 | 第53-67页 |
| ·典型微结构的加工试验 | 第53-55页 |
| ·对自组装膜表面接触角的测量与分析 | 第55-58页 |
| ·接触角及其基础理论 | 第55页 |
| ·接触角检测方法及接触角仪系统简介 | 第55-56页 |
| ·接触角的测量和结果分析 | 第56-58页 |
| ·利用原子力显微镜检测纳米机械性能 | 第58-61页 |
| ·利用接触模式检测纳米摩擦性能 | 第59-60页 |
| ·利用力曲线检测粘着力 | 第60-61页 |
| ·各种材料自组装膜表面机械性能的检测 | 第61-66页 |
| ·各种材料自组装膜表面的摩擦力分析 | 第62-64页 |
| ·利用力曲线检测自组装膜的粘着力 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第5章 硅表面自组装膜功能化的初步研究 | 第67-75页 |
| ·在自组装膜上连接单链DNA | 第67-72页 |
| ·单链DNA 通过自组装膜连接硅的原理 | 第68-69页 |
| ·实验方法 | 第69-70页 |
| ·用荧光显微镜检测连接在自组装膜上的单链DNA | 第70-72页 |
| ·在自组装膜上连接单臂碳纳米管及其他纳米粒子 | 第72-74页 |
| ·在自组装膜上连接单臂碳纳米管 | 第72页 |
| ·碳纳米管通过芳烃重氮盐连接硅的原理 | 第72-73页 |
| ·其他纳米粒子的自组装技术 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-82页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
