| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·太阳能光伏技术的发展状况 | 第8-10页 |
| ·太阳能电池的研究现状与发展趋势 | 第10-12页 |
| ·柔性非晶硅薄膜太阳能电池的研究意义 | 第12-14页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第14-15页 |
| 2 非晶硅材料与太阳能电池理论基础 | 第15-23页 |
| ·非晶硅材料 | 第15-19页 |
| ·非晶硅薄膜太阳能电池的理论基础 | 第19-23页 |
| 3 柔性非晶硅薄膜太阳能电池的结构及工艺设计 | 第23-30页 |
| ·柔性非晶硅薄膜太阳能电池的结构设计 | 第23-27页 |
| ·柔性非晶硅薄膜太阳能电池的工艺设计 | 第27-29页 |
| ·柔性非晶硅薄膜太阳能电池相关性能的测试方法 | 第29-30页 |
| 4 ZnO:Al 透明导电薄膜的研究 | 第30-43页 |
| ·ZnO:Al 薄膜的性质 | 第30-31页 |
| ·ZnO:Al 透明导电薄膜的制备 | 第31页 |
| ·沉积工艺对ZnO:Al 薄膜的影响分析 | 第31-39页 |
| ·ZnO:Al 薄膜对柔性非晶硅薄膜太阳能电池性能的影响 | 第39-43页 |
| 5 n 层薄膜的结晶状态对太阳能电池性能的影响 | 第43-52页 |
| ·n 层薄膜在柔性非晶硅薄膜太阳能电池中的作用 | 第43页 |
| ·n 层微晶硅薄膜的制备工艺研究 | 第43-45页 |
| ·n 层多晶硅薄膜低温晶化工艺的研究 | 第45-50页 |
| ·n 层薄膜的结晶状态对太阳能电池的影响 | 第50-52页 |
| 6 结论 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第59-60页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利及获奖 | 第60页 |