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纳米多孔硅光子器件的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
第一章 绪论第9-24页
   ·多孔硅概述第9页
   ·多孔硅的形成机理研究第9-11页
   ·多孔硅的制备方法第11-15页
   ·多孔硅光致发光特性研究的综述第15-17页
   ·多孔硅基光学生物传感器简介第17-21页
   ·本论文的选题背景,研究意义及研究内容第21-24页
     ·选题背景及研究意义第21-22页
     ·研究内容第22-24页
第二章 多孔硅的电化学制备与优化第24-51页
   ·多孔硅腐蚀装置的改进第25-27页
   ·多孔硅制备实验前准备第27-28页
   ·腐蚀液浓度对多孔硅形貌的影响第28-32页
     ·实验部分第28页
     ·结果与讨论第28-32页
   ·阳极电化学制备 SOI 多孔硅第32-42页
     ·SOI 简介第32-33页
     ·光子晶体概述第33-34页
     ·多孔硅光子晶体的理论分析第34-39页
     ·SOI 多孔硅一维光子晶体的实现第39-42页
   ·腐蚀参数对多孔硅光学厚度的影响第42-50页
     ·实验部分第44页
     ·结果与讨论第44-50页
   ·本章小结第50-51页
第三章 多孔硅复合材料的光致发光特性第51-63页
   ·利用化学气相沉积法制备多孔硅基复合光致发光材料第51-55页
     ·化学气相沉积法第51页
     ·硫化锌/氧化锌/多孔硅(ZnS/ZnO/PS)复合体系的光致发光研究第51-55页
   ·利用甩胶法制备多孔硅/有机半导体复合膜的光电特性第55-59页
   ·多孔硅模板法制备纳米氧化铝第59-62页
   ·本章小结第62-63页
第四章 多孔硅表面拉曼效应的分析及在生物检测中的应用第63-74页
   ·RAMAN 光谱概述第63-65页
   ·氧化多孔硅的 RAMAN 分析第65-68页
     ·实验方案第66页
     ·实验结果与讨论第66-68页
   ·基于 RAMAN 信号的多孔硅基光学传感器第68-72页
     ·检测 mZP3 的意义第69页
     ·实验方案第69-70页
     ·实验结果与讨论第70-72页
   ·本章小结第72-74页
第五章 SOI 多孔硅在生物传感器中的应用第74-95页
   ·单层 SOI 多孔硅的生物检测应用第74-81页
     ·实验方案第74-76页
     ·实验结果与讨论第76-81页
   ·一维 SOI 多孔硅光子晶体的生物检测应用第81-86页
     ·实验方案第81页
     ·实验结果与讨论第81-86页
   ·基于 SOI 多孔硅微腔的生物检测应用第86-91页
   ·误差分析第91页
   ·SOI 多孔硅光栅的初步研究第91-94页
     ·实验方案第92页
     ·实验结果与讨论第92-94页
   ·本章小结第94-95页
第六章 结论与展望第95-97页
   ·本论文的主要结论第95-96页
   ·本论文的创新点第96页
   ·研究展望第96-97页
参考文献第97-107页
博士期间取得的研究成果第107-109页
致谢第109页

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