接触式台阶高度测量数据分析及处理系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·表面测量技术发展概况 | 第8-13页 |
| ·接触式测量法 | 第9-10页 |
| ·光学测量法 | 第10页 |
| ·扫描显微镜法 | 第10-11页 |
| ·几种测量方法的比较 | 第11页 |
| ·表面粗糙度 | 第11-12页 |
| ·表面评定参数 | 第12-13页 |
| ·本课题研究的目的和意义及主要研究内容 | 第13-14页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第13页 |
| ·课题主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 系统硬件组成 | 第14-19页 |
| ·总体设计 | 第14-15页 |
| ·电感传感器 | 第15-16页 |
| ·测量电路 | 第16-18页 |
| ·放大电路 | 第16页 |
| ·相敏检波 | 第16-17页 |
| ·滤波 | 第17-18页 |
| ·数据采集 | 第18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第3章 表面粗糙度测量 | 第19-28页 |
| ·表面特征参数 | 第19-20页 |
| ·表面评定基准线 | 第20-27页 |
| ·标准滤波中线 | 第21-23页 |
| ·零相位滤波中线 | 第23-24页 |
| ·高斯滤波中线 | 第24-25页 |
| ·最小二乘中线 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第4章 台阶高度测量 | 第28-42页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·边缘检测 | 第28-30页 |
| ·最小二乘直线拟合 | 第30-32页 |
| ·台阶高度计算 | 第32-35页 |
| ·单边算法 | 第32-33页 |
| ·ISO算法 | 第33页 |
| ·Two-sided两边算法 | 第33-34页 |
| ·Two-sided修正算法 | 第34-35页 |
| ·台阶测量中倾斜问题及处理办法 | 第35-39页 |
| ·台阶倾斜时对台阶高度几种算法的影响 | 第36-38页 |
| ·轮廓调平 | 第38-39页 |
| ·软件设计 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第5章 实验及不确定度分析 | 第42-47页 |
| ·实验 | 第42-45页 |
| ·测量重复性 | 第42-43页 |
| ·原始台阶轮廓调平后的数据分析 | 第43-44页 |
| ·表面参数测量 | 第44-45页 |
| ·示值误差的不确定度分析 | 第45-46页 |
| ·标准不确定度分量的评定 | 第45-46页 |
| ·合成标准不确定度评定 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 结论 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 附录 | 第52-53页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第53页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第53页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54页 |
