纳秒脉冲驱动准分子光源的实验及模型研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-15页 |
| ·引言 | 第6页 |
| ·准分子紫外光源 | 第6-11页 |
| ·准分子 | 第6-8页 |
| ·准分子的形成过程 | 第8-9页 |
| ·准分子的产生方法 | 第9-10页 |
| ·准分子光源的优点及应用 | 第10-11页 |
| ·准分子光源的最新进展 | 第11-14页 |
| ·稀有气体双原子准分子光源 | 第11-12页 |
| ·稀有气体-卤素准分子光源 | 第12-14页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 纳秒脉冲电源驱动准分子灯的实验研究 | 第15-25页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·氯化氪准分子的形成过程 | 第15-16页 |
| ·实验测量方法 | 第16-18页 |
| ·实验装置 | 第18-20页 |
| ·氯化氪准分子灯 | 第18-19页 |
| ·纳秒脉冲电源 | 第19页 |
| ·实验架构 | 第19-20页 |
| ·实验结果 | 第20-23页 |
| ·激励类型 | 第20-21页 |
| ·电源极性 | 第21页 |
| ·电压幅值 | 第21-22页 |
| ·脉冲频率 | 第22-23页 |
| ·实验结果分析 | 第23-25页 |
| 第三章 准分子光源的电路模型研究 | 第25-35页 |
| ·介质阻挡放电 | 第25-26页 |
| ·准分子灯的电路模型 | 第26-31页 |
| ·正弦电压驱动 | 第28-30页 |
| ·单向脉冲电源驱动 | 第30-31页 |
| ·能量分析 | 第31页 |
| ·电路模型的意义与局限 | 第31-35页 |
| 第四章 准分子光源的数学模型研究 | 第35-57页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·模型理论 | 第35-44页 |
| ·玻尔兹曼方程 | 第35-36页 |
| ·玻尔兹曼方程的矩 | 第36-37页 |
| ·近似处理 | 第37-39页 |
| ·边界条件 | 第39-41页 |
| ·考虑的反应粒子及相关输运系数 | 第41-44页 |
| ·模拟结果 | 第44-57页 |
| ·模型尺寸及计算方法 | 第44-45页 |
| ·正弦电压驱动的模拟结果 | 第45-52页 |
| ·脉冲电压驱动的模拟结果 | 第52-56页 |
| ·小结与讨论 | 第56-57页 |
| 第五章 全文总结 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
