| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-33页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·MEMS动态测试技术 | 第12-21页 |
| ·光学测试技术 | 第13-18页 |
| ·内置自测试(Build-In Self-Test，BIST)技术 | 第18-21页 |
| ·MEMS动态测试中激励技术 | 第21-30页 |
| ·外部物理场/能激励方式 | 第21-24页 |
| ·内部集成激励方式 | 第24-28页 |
| ·底座激励方式 | 第28-30页 |
| ·国内外研究现状 | 第30-31页 |
| ·本文的研究内容 | 第31-33页 |
| 2 高g值环境下微结构动力学模型研究 | 第33-45页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·结构线性小变形动力学模型 | 第33-36页 |
| ·考虑恒载效应的非线性模型 | 第36-41页 |
| ·大变形应力刚化几何非线性模型 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 3 高g值环境微结构动态测试技术及装置研究 | 第45-68页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·高g值环境微结构动态测试技术研究 | 第45-48页 |
| ·高g值加速度环境的产生 | 第45-46页 |
| ·高g值环境下微结构的激励 | 第46-47页 |
| ·微结构动态响应信号的提取、传输 | 第47-48页 |
| ·高g值环境微结构动态测试装置总体技术方案 | 第48-49页 |
| ·高速离心转台的设计 | 第49-61页 |
| ·离心转盘部件设计 | 第49-53页 |
| ·驱动单元设计 | 第53-55页 |
| ·离心转盘状态监测 | 第55-59页 |
| ·数据传输 | 第59-60页 |
| ·高g值环境微结构动态测试装置总体 | 第60-61页 |
| ·高速转台转差率补偿实验研究 | 第61-63页 |
| ·激励装置的研制 | 第63-67页 |
| ·基于压电陶瓷的底座激励装置 | 第64-66页 |
| ·压电陶瓷冲击激励驱动电源的研制 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 4 高g值环境测试用典型微结构的研制 | 第68-83页 |
| ·引言 | 第68-69页 |
| ·弹性元件的结构设计 | 第69-71页 |
| ·结构尺寸与应力分布 | 第69-70页 |
| ·弹性元件的变形与结构灵敏度 | 第70-71页 |
| ·结构尺寸设计 | 第71-73页 |
| ·约束条件 | 第71-72页 |
| ·参数设计 | 第72-73页 |
| ·压阻元件的设计 | 第73-78页 |
| ·压阻系数选取 | 第73-75页 |
| ·压阻的尺寸 | 第75-76页 |
| ·压阻电桥的位置布置及连线 | 第76页 |
| ·试件的输出灵敏度 | 第76-78页 |
| ·试件版图设计及微机械加工制作流程 | 第78-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 5 常态下微结构动态测试研究 | 第83-101页 |
| ·引言 | 第83页 |
| ·压电陶瓷冲击激励特性研究 | 第83-89页 |
| ·压电陶瓷冲击响应时域/频域分析 | 第83-87页 |
| ·压电陶瓷冲击激励输出特性分析 | 第87-89页 |
| ·基于压电陶瓷底座激励的微结构动态特性测试 | 第89-94页 |
| ·采用比对法的压电微悬臂梁动态测试 | 第89-92页 |
| ·有限元分析与测试相结合的微结构动态测试法 | 第92-94页 |
| ·基于压电陶瓷激励技术的微结构灵敏度测试 | 第94-100页 |
| ·压电陶瓷冲击激励测试 | 第95页 |
| ·压电陶瓷稳态正弦激励测试 | 第95-98页 |
| ·采用高速离心转台测试 | 第98-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 6 高g值环境下典型微结构动态特性测试 | 第101-119页 |
| ·引言 | 第101页 |
| ·高g值环境下线形小变形微结构动态特性测试 | 第101-109页 |
| ·高g值环境下大变形微结构动态特性测试 | 第109-116页 |
| ·测试结果分析与讨论 | 第116-118页 |
| ·本章小结 | 第118-119页 |
| 结论 | 第119-121页 |
| 创新点摘要 | 第121-122页 |
| 参考文献 | 第122-131页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第131-133页 |
| 致谢 | 第133-134页 |