弹性微阀组性能及其应用的研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 中文摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 1 引言 | 第9-18页 |
| ·研究工作的背景及意义 | 第9-13页 |
| ·MEMS 及微制造技术的发展 | 第9-10页 |
| ·MEMS 及微制造技术产品的市场前景 | 第10-11页 |
| ·微型流体分析系统 | 第11-13页 |
| ·研究现状 | 第13-15页 |
| ·高性能新型制止阀 | 第14页 |
| ·静电驱动气体微阀 | 第14-15页 |
| ·电流变流体微阀 | 第15页 |
| ·研究方法 | 第15-17页 |
| ·主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2 微阀组激励研究 | 第18-27页 |
| ·在微流体通道内水凝胶对流体的控制 | 第18-20页 |
| ·PH 响应微球体的制作 | 第20-21页 |
| ·PH 响应微球体的性质研究 | 第21-27页 |
| 3 基于 PDMS 微流体器件的制作工艺 | 第27-41页 |
| ·硅基微流体器件中的微电子基本工艺 | 第27-31页 |
| ·光刻及其相关工艺 | 第27-28页 |
| ·薄膜制备工艺 | 第28-29页 |
| ·MEMS 基本工艺 | 第29-31页 |
| ·PDMS 微小流路微加工技术的研究 | 第31-38页 |
| ·PDMS 材料的基本特性 | 第31-33页 |
| ·PDMS 材料及微流体通道的制作工艺 | 第33-35页 |
| ·PDMS 基本工艺 | 第35-38页 |
| ·衬板的制作工艺 | 第38-40页 |
| ·薄膜的制备 | 第39页 |
| ·正胶剥离 | 第39-40页 |
| ·密封 | 第40页 |
| ·小节 | 第40-41页 |
| 4 PH 响应微阀组的工作原理及制作 | 第41-55页 |
| ·相变微阀的相关研究报道综述 | 第41-43页 |
| ·弹性微阀组的设计与制作 | 第43-55页 |
| ·弹性微阀组的设计思想 | 第43-44页 |
| ·弹性微阀组的工作原理 | 第44-47页 |
| ·仪器与试剂 | 第47-48页 |
| ·PDMS 芯片的设计与制作 | 第48-52页 |
| ·芯片的封合 | 第52-55页 |
| 5 弹性微阀组的性能研究 | 第55-62页 |
| ·多组弹性微阀组系统的构建及其性能研究方法 | 第55-56页 |
| ·测试结果及讨论 | 第56-62页 |
| 6 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 作者简历 | 第67-68页 |
