| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 文献综述 | 第12-38页 |
| ·前言 | 第12页 |
| ·ZnO 的结构 | 第12-14页 |
| ·ZnO 的固有缺陷和荧光性质 | 第14-16页 |
| ·ZnO 掺杂的研究进展 | 第16-30页 |
| ·H 元素的掺杂 | 第16-17页 |
| ·施主掺杂 | 第17-18页 |
| ·受主掺杂 | 第18-30页 |
| ·ZnO 的应用 | 第30-32页 |
| ·光电器件 | 第30-31页 |
| ·透明导电薄膜 | 第31-32页 |
| ·ZnO 作为光电材料研究中存在的主要问题 | 第32-33页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第33-35页 |
| ·磁控溅射 | 第33-34页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第34页 |
| ·分子束外延 | 第34页 |
| ·金属有机化学气相沉积 | 第34-35页 |
| ·喷涂热分解 | 第35页 |
| ·薄膜的形成过程 | 第35-36页 |
| ·本文的选题依据及主要研究内容 | 第36-37页 |
| ·主要创新点 | 第37-38页 |
| 第2章 样品的制备及表征 | 第38-50页 |
| ·薄膜样品的制备 | 第38-43页 |
| ·磁控溅射系统 | 第38-39页 |
| ·溅射原理 | 第39-42页 |
| ·靶材的制备 | 第42页 |
| ·衬底的选择与处理 | 第42-43页 |
| ·样品的制备过程 | 第43页 |
| ·表征方法介绍 | 第43-50页 |
| ·结构和成分分析 | 第43-45页 |
| ·表面形貌观察 | 第45-46页 |
| ·电学测量 | 第46-48页 |
| ·光学测量 | 第48-50页 |
| 第3章 纯ZnO 薄膜结构性能的研究 | 第50-59页 |
| ·ZnO 薄膜与粉末的结构和性能 | 第50-51页 |
| ·X-射线衍射(XRD) | 第50-51页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第51页 |
| ·紫外可见光吸收光谱(UV-Vis) | 第51页 |
| ·生长和热处理条件对ZnO 薄膜与粉末的结构和性能的影响 | 第51-58页 |
| ·X-射线衍射(XRD) | 第52-53页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第53-55页 |
| ·光学性能 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 As 掺杂ZnO 薄膜的结构性能研究 | 第59-86页 |
| ·溅射Zn_3AS_2/ZnO 靶制备的ZnO 薄膜结构性能研究 | 第59-74页 |
| ·X-射线衍射（XRD） | 第59-64页 |
| ·As 掺杂ZnO 薄膜表面形貌(AFM、SEM) | 第64-66页 |
| ·X-射线能量散射谱（EDS） | 第66-68页 |
| ·X-射线光电子能谱（XPS） | 第68-70页 |
| ·霍尔效应 | 第70-73页 |
| ·紫外-可见光透光光谱（UV-Vis） | 第73-74页 |
| ·共溅射Zn_3AS_2 和ZnO 靶制备ZnO 薄膜结构性能研究 | 第74-85页 |
| ·X-射线衍射（XRD） | 第74-76页 |
| ·As 掺杂ZnO 薄膜的表面形貌（SEM） | 第76-77页 |
| ·薄膜成分分析 | 第77-78页 |
| ·X-射线光电子能谱（XPS） | 第78-80页 |
| ·欧姆接触 | 第80-81页 |
| ·霍尔效应 | 第81-82页 |
| ·紫外-可见光透光光谱（UV-Vis） | 第82-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 第5章 ZnO 基p-n 结性质的研究 | 第86-96页 |
| ·引言 | 第86页 |
| ·ZnO 同质结 | 第86-92页 |
| ·玻璃衬底 | 第86-89页 |
| ·p-n 结的透光性 | 第89-90页 |
| ·SiO_2/Si 衬底 | 第90-92页 |
| ·ZnO 异质结 | 第92-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 第6章 ZnO: (Mg, As)薄膜性能的研究 | 第96-105页 |
| ·X-射线衍射（XRD） | 第96-99页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第99-100页 |
| ·X-射线能量散射谱（EDS） | 第100页 |
| ·霍尔效应 | 第100-102页 |
| ·紫外-可见光透光光谱（UV-Vis） | 第102-103页 |
| ·本章小结 | 第103-105页 |
| 结论 | 第105-107页 |
| 参考文献 | 第107-119页 |
| 致谢 | 第119-120页 |
| 附录 A 攻读博士学位期间所发表与待发表的论文 | 第120页 |
