纳米金刚石薄膜的制备与研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-13页 |
| ·纳米金刚石薄膜 | 第8-10页 |
| ·纳米金刚石薄膜的优异性能 | 第8页 |
| ·纳米金刚石薄膜的研究现状 | 第8-9页 |
| ·纳米金刚石薄膜的发展趋势和应用前景 | 第9-10页 |
| ·本研究的背景、意义和主要内容 | 第10-13页 |
| ·本研究的背景和意义 | 第10-11页 |
| ·本研究的主要内容 | 第11-13页 |
| 第二章 文献综述 | 第13-23页 |
| ·金刚石的晶体结构和主要性质 | 第13-17页 |
| ·金刚石的晶体结构 | 第13-14页 |
| ·金刚石的主要性质 | 第14-17页 |
| ·CVD金刚石薄膜 | 第17-21页 |
| ·CVD金刚石薄膜的应用 | 第17-19页 |
| ·CVD金刚石薄膜的制备方法 | 第19-20页 |
| ·金刚石薄膜的性能表征 | 第20-21页 |
| ·实验设备及原理 | 第21-23页 |
| 第三章 纳米金刚石薄膜的制备与研究 | 第23-39页 |
| ·反应压强对制备金刚石薄膜的影响 | 第23-27页 |
| ·实验方法 | 第24页 |
| ·实验结果与分析 | 第24-26页 |
| ·小结 | 第26-27页 |
| ·氮气含量对制备金刚石薄膜的影响 | 第27-33页 |
| ·实验方法 | 第27-28页 |
| ·实验结果与分析 | 第28-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| ·氩气含量对制备金刚石薄膜的影响 | 第33-39页 |
| ·氩气含量对制备金刚石薄膜性能的影响 | 第33-35页 |
| ·高氩气含量时优化甲烷和氢气的工艺参数 | 第35-38页 |
| ·小结 | 第38-39页 |
| 第四章 微—纳米复合金刚石薄膜的制备与性能研究 | 第39-46页 |
| ·柔性衬底上制备复合金刚石薄膜的思路 | 第39页 |
| ·微-纳米金刚石薄膜的制备与性能测试 | 第39-40页 |
| ·衬底的预处理 | 第39-40页 |
| ·微—纳米复合金刚石薄膜的制备及性能测试 | 第40页 |
| ·实验结果与分析 | 第40-45页 |
| ·薄膜的X射线衍射分析和拉曼衍射 | 第40-41页 |
| ·薄膜的表面形貌与平整性分析 | 第41-43页 |
| ·薄膜与衬底间的附着性能 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第五章 结论和展望 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-56页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
