| 目录 | 第1-8页 |
| 表目录 | 第8-9页 |
| 图目录 | 第9-11页 |
| 摘要 | 第11-12页 |
| ABSTRACT | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| §1.1 前言 | 第13-14页 |
| §1.2 运载火箭星箭对接面力学环境参数测量技术的国内外现状 | 第14-15页 |
| §1.3 提高运载火箭星箭对接面振动参数的技术难点 | 第15-17页 |
| §1.4 MEMS技术的发展现状及特点 | 第17-18页 |
| §1.5 论文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 基于MEMS的微加速度计技术研究 | 第19-30页 |
| §2.1 MEMS技术概述 | 第19页 |
| §2.2 MEMS微加速度计原理 | 第19-21页 |
| §2.3 微加速度器的设计和制造 | 第21-26页 |
| ·微加速度计的集成设计技术 | 第21-24页 |
| ·微机械加速度计的主要制作工艺 | 第24-26页 |
| §2.4 MEMS微加速度计分类 | 第26-29页 |
| ·压阻式微机械加速度计 | 第26-28页 |
| ·电容式微加速度计 | 第28-29页 |
| ·扭摆式微加速度计的敏感单元 | 第29页 |
| §2.5 小结 | 第29-30页 |
| 第三章 基于MEMS的SMC系列加速度传感器研制 | 第30-61页 |
| §3.1 前言 | 第30页 |
| §3.2 传感器需求分析和系统设计 | 第30-33页 |
| ·传感器设计概要 | 第30-31页 |
| ·传感器需求分析 | 第31-33页 |
| §3.3 加速度传感器系统设计 | 第33-47页 |
| ·加速度芯片的选择 | 第33-35页 |
| ·ICS3255加速度芯片 | 第35-39页 |
| ·传感器设计原理 | 第39-47页 |
| §3.4 可靠性设计和分析 | 第47-51页 |
| ·MEMS技术可靠性 | 第47-48页 |
| ·SMC加速度传感器可靠性设计 | 第48-49页 |
| ·SMC加速度传感器可靠性分析 | 第49-51页 |
| §3.5 传感器性能标定与校准 | 第51-58页 |
| ·传感器的性能标定 | 第52-58页 |
| ·传感器的校准 | 第58页 |
| §3.6 传感器试验 | 第58-60页 |
| ·环境应力筛选 | 第58-59页 |
| ·老炼试验 | 第59页 |
| ·环境试验 | 第59-60页 |
| §3.7 小结 | 第60-61页 |
| 第四章 高精度的数据采集方案研究 | 第61-68页 |
| §4.1 数据采集精度计算方法 | 第61-62页 |
| §4.2 10位高精度数据采集方案 | 第62-63页 |
| ·提高遥测系统帧格式字长 | 第62页 |
| ·改造遥测中心单元A/D接口 | 第62页 |
| ·增加中间装置 | 第62-63页 |
| §4.3 10位高精度数据采编集器设计 | 第63-68页 |
| ·可增加的振动参数数量计算 | 第63页 |
| ·10位高精度数据采编集器主要技术指标 | 第63-64页 |
| ·产品电路设计 | 第64-67页 |
| ·可靠性设计与分析 | 第67页 |
| ·采编器在航天上的应用前景 | 第67-68页 |
| 第五章 结论和展望 | 第68-70页 |
| §5.1 研究结论 | 第68页 |
| §5.2 展望和前景 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 硕士期间发表论文 | 第73页 |