| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·微驱动定位系统发展状况及研究意义 | 第8-13页 |
| ·微位移、微定位技术国内外研究现状 | 第8-13页 |
| ·课题研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 回转式压电电动机运动原理及结构设计 | 第14-28页 |
| ·压电电动机运动原理 | 第14-15页 |
| ·尺蠖运动原理 | 第14页 |
| ·回转式驱动原理简述 | 第14-15页 |
| ·压电电动机的设计要求 | 第15-16页 |
| ·柔性铰链设计 | 第16-19页 |
| ·柔性铰链工作原理及其类型 | 第16页 |
| ·柔性铰链工作特点 | 第16-17页 |
| ·柔性铰链计算 | 第17-19页 |
| ·压电电动机结构设计 | 第19-22页 |
| ·总体设计 | 第19-20页 |
| ·夹紧装置和驱动装置设计 | 第20-22页 |
| ·压电陶瓷特性简介及压电元件选择 | 第22-27页 |
| ·压电陶瓷的性能参数 | 第22-23页 |
| ·压电陶瓷材料的固有特性 | 第23-25页 |
| ·压电元件的选择 | 第25-27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 第三章 压电电动机驱动电路系统设计 | 第28-46页 |
| ·压电电动机控制系统设计 | 第28-34页 |
| ·驱动控制信号 | 第28页 |
| ·控制系统硬件设计 | 第28-30页 |
| ·控制系统软件设计 | 第30-34页 |
| ·压电陶瓷驱动器电源 | 第34-42页 |
| ·作用原理 | 第34-35页 |
| ·压电陶瓷驱动器电源设计要求 | 第35页 |
| ·压电陶瓷驱动器电源分类 | 第35-38页 |
| ·驱动电源的实现 | 第38-42页 |
| ·设计框图 | 第38页 |
| ·驱动电源电路设计 | 第38-42页 |
| ·驱动电源性能测试 | 第42-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第四章 压电电动机测试实验及结果分析 | 第46-56页 |
| ·压电材料性能实验 | 第46-47页 |
| ·压电电动机性能测试 | 第47-48页 |
| ·实验装置 | 第47页 |
| ·TJU2000 型 CCD 高精度光电自跟踪光电自准直仪 | 第47-48页 |
| ·实验数据及处理 | 第48-55页 |
| ·压电电动机速度及误差分析 | 第55-56页 |
| 全文总结及展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |