| 第1章 绪论 | 第1-25页 |
| 1．1 全光通信中的光开关 | 第10-17页 |
| 1．1．1 全光通信网络 | 第10-13页 |
| 1．1．2 光开关在全光通信网络中的应用 | 第13-15页 |
| 1．1．3 光开关的市场分析 | 第15页 |
| 1．1．4 各种光开关技术的比较 | 第15-17页 |
| 1．2 MOEMS 光开关 | 第17-23页 |
| 1．2．1 MOEMS 技术 | 第18-19页 |
| 1．2．2 MOEMS 光开关的研究现状 | 第19-22页 |
| 1．2．3 MOEMS 光开关的主要驱动形式 | 第22-23页 |
| 1．3 本论文的研究意义、研究内容和研究方法 | 第23-25页 |
| 第2章 MOEMS 光开关的结构设计 | 第25-50页 |
| 2．1 8×8 MOEMS 阵列光开关 | 第25-26页 |
| 2．2 微反射镜阵列芯片的光学设计 | 第26-34页 |
| 2．2．1 微反射镜反射面的尺寸设计 | 第27-30页 |
| 2．2．2 微反射镜表面的反射特性 | 第30-31页 |
| 2．2．3 微反射镜金反射膜偏振特性的研究 | 第31-32页 |
| 2．2．4 微反射镜表面的散射特性对插入损耗的影响 | 第32-33页 |
| 2．2．5 MOEMS 光开关光学设计总结 | 第33-34页 |
| 2．3 MOEMS 光开关的机电结构设计 | 第34-48页 |
| 2．3．1 MOEMS 光开关静电力矩的分析 | 第35-37页 |
| 2．3．2 MOEMS 光开关的驱动电压 | 第37-38页 |
| 2．3．3 光开关的驱动电压和结构参数之间的关系 | 第38-44页 |
| 2．3．4 光开关的固有频率分析 | 第44页 |
| 2．3．5 光开关的动态响应分析 | 第44-47页 |
| 2．3．6 光开关机电结构设计总结 | 第47-48页 |
| 2．4 MOEMS 光开关结构设计总结 | 第48-50页 |
| 第3章 MOEMS 光开关的有限元分析 | 第50-55页 |
| 3．1 MOEMS 光开关结构的建模 | 第50-51页 |
| 3．2 MOEMS 光开关结构的应力分析 | 第51-52页 |
| 3．3 MOEMS 光开关各阶模态频率的分析 | 第52-53页 |
| 3．4 MOEMS 光开关有限元分析总结 | 第53-55页 |
| 第4章 MOEMS 光开关芯片制作技术研究 | 第55-70页 |
| 4．1 (110)单晶硅的各向异性腐蚀机理 | 第55-59页 |
| 4．2 MOEMS 光开关阵列芯片工艺步骤的设计 | 第59-62页 |
| 4．3 MOEMS 光开关阵列掩蔽图形的制作 | 第62-63页 |
| 4．4 光开关微反射镜阵列的各向异性腐蚀实验 | 第63-65页 |
| 4．4．1 KOH 各向异性腐蚀实验设计 | 第63-64页 |
| 4．4．2 MOEMS 光开关微反射镜阵列的实验结果 | 第64-65页 |
| 4．5 微反射镜阵列各向异性腐蚀实验结果分析 | 第65-69页 |
| 4．5．1 各向异性腐蚀掩蔽层的应力问题和解决方法 | 第66-68页 |
| 4．5．2 微反射镜两端的凸角腐蚀以及凸角补偿问题 | 第68-69页 |
| 4．6 本章总结 | 第69-70页 |
| 第5章 结论 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 作者简历 | 第76页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第76-77页 |
