金属—碳系复合电特性功能膜制备研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·选题意义 | 第9页 |
| ·文献综述 | 第9-22页 |
| ·碳基功能膜的研究进展 | 第9-15页 |
| ·波导膜与磁控溅射技术的发展 | 第15-19页 |
| ·导电碳基木质陶瓷材料 | 第19-22页 |
| ·本文主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 实验方案及装置 | 第23-36页 |
| ·镀膜机的结构及溅射原理 | 第23-28页 |
| ·真空溅射装置 | 第28-32页 |
| ·工件架的设计 | 第28-31页 |
| ·温控隔离变压器的设计 | 第31-32页 |
| ·木质陶瓷材料制备装置 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 作为靶材的碳基木质陶瓷基础材料研究 | 第36-43页 |
| ·秸秆的炭化工艺 | 第36-37页 |
| ·碳基复合木质陶瓷材料和烧结工艺 | 第37-40页 |
| ·碳基复合镶嵌靶及粉末烧结靶 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 镶嵌靶设计和溅射工艺的确定 | 第43-60页 |
| ·镶嵌靶结构的研究 | 第43-45页 |
| ·波导膜的性能检测装置及理论分析 | 第45-46页 |
| ·溅射成膜分析 | 第46-55页 |
| ·实验各工艺参数对溅射成膜的影响 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 碳基电特性膜的制备研究 | 第60-65页 |
| ·碳基膜的优越性 | 第60页 |
| ·溅射碳基电特性膜的制备装置 | 第60-61页 |
| ·碳基复合电特性的膜制备 | 第61-62页 |
| ·性能分析 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 金属-碳系复合波导膜的制备研究 | 第65-74页 |
| ·前处理工艺 | 第65-66页 |
| ·溅射工艺过程 | 第66-67页 |
| ·膜系的设计及制备 | 第67-70页 |
| ·膜系的检测分析 | 第70-72页 |
| ·膜系的性能分析 | 第72-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第七章 主要结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第79页 |
