| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题的背景、课题的目的和意义 | 第8-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·本文研究内容 | 第13-15页 |
| 2 柔性基板输送系统的设计 | 第15-29页 |
| ·引言 | 第15-16页 |
| ·柔性基板输送系统的构成 | 第16-17页 |
| ·柔性基板输送系统的设计 | 第17-23页 |
| ·基于PMAC 的柔性基板输送系统的控制 | 第23-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 3 柔性基板输送系统关键部件的优化 | 第29-53页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·结构优化设计的基本理论 | 第29-32页 |
| ·托辊的有限元分析与优化 | 第32-41页 |
| ·支撑侧板的有限元分析与优化 | 第41-46页 |
| ·关键部件的模态分析 | 第46-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 4 柔性基板横向位移的控制与仿真 | 第53-66页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·横向位移的计算 | 第53-56页 |
| ·横向位移纠偏控制 | 第56-61页 |
| ·纠偏控制系统的仿真 | 第61-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 5 总结和展望 | 第66-68页 |
| ·全文总结 | 第66页 |
| ·研究展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-71页 |