基于应力集中结构的麦克风设计
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·MEMS 麦克风的概述 | 第8页 |
| ·MEMS 麦克风的分类 | 第8-10页 |
| ·MEMS 压电式麦克风 | 第8-9页 |
| ·MEMS 电容式麦克风 | 第9-10页 |
| ·MEMS 压阻麦克风 | 第10页 |
| ·本论文的主要工作 | 第10-11页 |
| 参考文献 | 第11-12页 |
| 第二章 有限元分析方法 | 第12-16页 |
| ·有限元法概述 | 第12-13页 |
| ·ANSYS 分析问题的基本流程 | 第13-14页 |
| ·本文麦克风 ANSYS 建模 | 第14-15页 |
| 参考文献 | 第15-16页 |
| 第三章 MEMS 压阻麦克风噪声分析 | 第16-23页 |
| ·机械热噪声 | 第16-18页 |
| ·布朗运动 | 第16-17页 |
| ·薄膜挤压阻尼[4] | 第17页 |
| ·辐射阻抗 | 第17-18页 |
| ·电路噪声 | 第18页 |
| ·信噪比（SNR） | 第18-22页 |
| 参考文献 | 第22-23页 |
| 第四章 MEMS 压阻麦克风结构优化 | 第23-55页 |
| ·应力的相关因素 | 第23页 |
| ·频率相关因素 | 第23页 |
| ·XI10 工艺条件的结构优化 | 第23-35页 |
| ·桥的长度优化 | 第24-26页 |
| ·膜的几何参数优化 | 第26-31页 |
| ·桥的几何形状优化 | 第31-35页 |
| ·理想条件的结构优化 | 第35-54页 |
| ·结构的材料选择 | 第35-36页 |
| ·膜与桥接触优化 | 第36-43页 |
| ·应力集中结构参数优化 | 第43-44页 |
| ·应力集中结构的的厚度和性能的关系 | 第44-46页 |
| ·膜的几何参数与结构性能的关系 | 第46-48页 |
| ·桥的形状的分析 | 第48-54页 |
| ·优化结果 | 第54页 |
| 参考文献 | 第54-55页 |
| 第五章 工艺流程及版图设计 | 第55-58页 |
| 第六章 未来工作 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
