TFT-LCD点缺陷的分析与研究

中文摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第一章 绪论	第8-21页
·TFT LCD 简介	第8-10页
·液晶驱动原理	第8-9页
·LCD 显示原理	第9-10页
·LASER 的概况	第10-12页
·本文的研究现状与发展趋势	第12-16页
·本文的研究内容与方法	第16-20页
·本章小结	第20-21页
第二章 LCD 工艺流程及其点缺陷概况	第21-51页
·ARRAY 段的生产过程及点缺陷产生原因	第21-25页
·Gate line 的制作	第22-23页
·X-Over 的制作过程	第23页
·AS 层的制作流程	第23-24页
·TH 的设计与制作	第24-25页
·ITO 的涂布与点缺陷	第25页
·CELL 段生产流程与点缺陷产生原因	第25-38页
·FEOL 段生产流程及点缺陷产生原因	第26-32页
·BEOL 段生产流程	第32-38页
·TFT-LCD 模组生产流程	第38-51页
·生产车间布局	第38-39页
·TFT-LCD 模组生产流程	第39-51页
第三章 常见点缺陷的预防及其修复方法	第51-73页
·点缺陷的预防方法及其检验装置	第51-57页
·点缺陷的检验装置	第51-52页
·点缺陷的检验方法	第52-57页
·常见点缺陷的修复方法	第57-63页
·雷射修补的基本手法	第59页
·暗点化的修复方法	第59-60页
·ITO 隔离的修复方法	第60-61页
·雷射炸射的修复方法	第61-63页
·试验机台最佳的LASER 焦距	第63-66页
·试验机台切割时的最佳能量值	第66-72页
·本章小结	第72-73页
第四章 总结与展望	第73-75页
参考文献	第75-77页
硕士期间发表论文	第77-78页
致谢	第78页