大行程宏微驱动超精密进给系统的设计与研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·宏微驱动超精密进给系统的国内外的研究状况和发展 | 第9-12页 |
| ·超精密加工研究现状和发展状况 | 第9-11页 |
| ·宏微驱动系统的国内外研究现状和发展 | 第11-12页 |
| ·弹性铰链的介绍 | 第12-13页 |
| ·宏微驱动超精密进给系统的研究背景和意义 | 第13页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第13-15页 |
| 2 单自由度平面载荷微进给平台的设计与分析 | 第15-25页 |
| ·概述 | 第15页 |
| ·单自由度平面载荷微动平台结构方案设计 | 第15-21页 |
| ·微动平台设计要求 | 第15页 |
| ·微动平台传动导向机构工作要求 | 第15页 |
| ·弹性铰链的种类和特性 | 第15-16页 |
| ·弹性铰链材料的选用和分析 | 第16-17页 |
| ·弹性铰链结构设计分析 | 第17-19页 |
| ·微进给平台布置方案设计 | 第19-21页 |
| ·微动平台加工工艺 | 第21页 |
| ·微动平台的有限元分析 | 第21-24页 |
| ·模型建立 | 第21-22页 |
| ·静态特性及应力分析 | 第22-23页 |
| ·模态分析 | 第23-24页 |
| ·小结 | 第24-25页 |
| 3 单自由度全载荷微动平台的设计 | 第25-37页 |
| ·概述 | 第25页 |
| ·全载荷微动平台结构方案设计 | 第25-30页 |
| ·全载荷导向机构设计要求 | 第25页 |
| ·全载荷支撑导向机构的方案设计 | 第25-26页 |
| ·弹性铰链的优化设计及分析 | 第26-29页 |
| ·全载荷微进给机构弹性铰链布置方案 | 第29-30页 |
| ·全载荷微动平台的有限元分析 | 第30-34页 |
| ·模型建立 | 第30-31页 |
| ·静态特性及应力分析 | 第31-32页 |
| ·模态分析 | 第32-34页 |
| ·全载荷微进给机构仿真分析 | 第34-35页 |
| ·全载荷微进给机构的加工工艺 | 第35页 |
| ·小结 | 第35-37页 |
| 4 单自由度宏微驱动实验台的搭建与实验研究 | 第37-63页 |
| ·宏微驱动系统集成形式与设计 | 第37-38页 |
| ·宏驱动直线组件的分析选用 | 第38-39页 |
| ·压电陶瓷致动器的工作原理及特性 | 第39-43页 |
| ·压电陶瓷致动器的工作原理 | 第39页 |
| ·压电陶瓷致动器的基本特性 | 第39-41页 |
| ·压电材料的性能参数的分析 | 第41-42页 |
| ·压电陶瓷致动器选用分析 | 第42-43页 |
| ·力传感器的标定 | 第43-46页 |
| ·力传感器概述 | 第43-44页 |
| ·标定原理及装置 | 第44页 |
| ·标定实验 | 第44-46页 |
| ·单自由度宏微驱动系统的检测装置设计 | 第46-51页 |
| ·光栅检测装置 | 第47-48页 |
| ·激光干涉仪检测装置 | 第48-49页 |
| ·Renishaw ML10 Gold工作原理 | 第49-51页 |
| ·宏微驱动驱动方式动力学建模 | 第51-54页 |
| ·宏驱动方式动力学建模 | 第51-52页 |
| ·微驱动方式动力学建模 | 第52-53页 |
| ·宏微双重驱动动力学模型 | 第53-54页 |
| ·宏微驱动精度检测与补偿实验 | 第54-61页 |
| ·误差来源 | 第54-55页 |
| ·误差补偿方法 | 第55页 |
| ·螺距补偿和间隙补偿 | 第55-56页 |
| ·误差补偿步骤 | 第56-57页 |
| ·宏动平台的精度检测和误差补偿 | 第57-59页 |
| ·微动平台精度检测 | 第59-60页 |
| ·宏微驱动实验与分析 | 第60-61页 |
| ·小结 | 第61-63页 |
| 5 全文总结与展望 | 第63-65页 |
| ·总结 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第71页 |
