MEMS光开关提高稳定性的研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-7页
第一章 绪论	第7-13页
·引言	第7-8页
·国内外发展现状	第8-11页
·本文的主要工作	第11-13页
第二章 静电梳齿驱动MEMS 光开关的工作原理	第13-25页
·概述	第13页
·静电梳齿驱动结构及原理	第13-15页
·MEMS 光开关的基本结构	第14页
·MEMS 光开关工作原理	第14-15页
·梳齿结构静电力计算	第15-18页
·平板结构静电力计算	第16页
·梳齿结构静电力计算	第16-18页
·静电驱动力的非线性分析	第18-21页
·吸合效应和挠度	第18-19页
·固端梁挠度误差分析	第19页
·临界电压的确定	第19-21页
·光开关的阻尼分析	第21-23页
·本章小结	第23-25页
第三章 大阻尼静电驱动MEMS 光开关设计	第25-39页
·MEMS 光开关的相关参数设计	第26-32页
·光开关模型机电动力学分析	第26-27页
·光开关初始间距d_0和最大距离d 的确定	第27页
·系统弹性系数K 和驱动电压U 的确定	第27-29页
·系统敏感质量块M 的确定	第29-30页
·弹性梁尺寸的确定	第30-31页
·光开关的动态阻尼	第31-32页
·MEMS 光开关系统动力学建模与仿真	第32-34页
·MEMS 光开关参数分析	第34-37页
·静电力和弹性力分析	第34-35页
·气膜梳齿个数影响分析	第35-37页
·本章小结	第37-39页
第四章 大位移静电驱动MEMS 光开关设计	第39-49页
·静电驱动工作受限分析	第39-40页
·电容负反馈方案研究	第40-45页
·电容负反馈模型改进效果分析	第42-44页
·负反馈改进模型移动距离和电源电压的函数关系	第44-45页
·引入负反馈电容的MEMS 光开关设计	第45-48页
·大位移光开关参数设计	第45页
·大位移光开关仿真	第45-47页
·大位移光开关分析	第47-48页
·本章小结	第48-49页
第五章 总结与展望	第49-51页
·工作总结	第49页
·论文的不足及工作展望	第49-51页
致谢	第51-52页
参考文献	第52-56页