| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| §1.1 课题研究的背景与意义 | 第11-12页 |
| §1.2 LTCC技术概述 | 第12-19页 |
| §1.2.1 LTCC技术的特点 | 第13-15页 |
| §1.2.2 LTCC技术的工艺流程 | 第15-18页 |
| §1.2.3 LTCC技术的应用 | 第18-19页 |
| §1.3 LTCC技术的现状及发展动态 | 第19-21页 |
| §1.3.1 LTCC技术的现状 | 第19-20页 |
| §1.3.2 LTCC技术的问题 | 第20页 |
| §1.3.3 LTCC技术的发展动态 | 第20-21页 |
| §1.4 LTCC专用烧结设备概述 | 第21-23页 |
| §1.5 本文的研究内容和总体结构 | 第23-25页 |
| 第二章 LTCC技术的低温共烧工艺与烧结设备需求分析 | 第25-32页 |
| §2.1 LTCC烧结收缩率的控制 | 第26-27页 |
| §2.2 LTCC基板烧结过程 | 第27-28页 |
| §2.2.1 排胶 | 第27-28页 |
| §2.2.2 烧结 | 第28页 |
| §2.3 LTCC共烧工艺研究热点 | 第28-29页 |
| §2.3.1 零收缩LTCC基板 | 第28-29页 |
| §2.3.2 LTCC铜布线 | 第29页 |
| §2.4 LTCC低温共烧工艺对烧结设备的需求分析 | 第29-31页 |
| §2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 LTCC专用烧结炉总体结构设计与计算 | 第32-57页 |
| §3.1 总体结构设计与结构图 | 第32-35页 |
| §3.2 炉体加热系统设计与计算 | 第35-46页 |
| §3.2.1 炉型选择 | 第35页 |
| §3.2.2 炉膛尺寸的确定 | 第35页 |
| §3.2.3 选择耐火保温材料 | 第35-36页 |
| §3.2.4 炉体结构设计 | 第36页 |
| §3.2.5 炉子功率的确定 | 第36-45页 |
| §3.2.6 电热元件的选择 | 第45-46页 |
| §3.3 升降机装载系统设计与计算 | 第46-52页 |
| §3.3.1 同步带传动的设计 | 第47-50页 |
| §3.3.2 滚珠丝杠传动的设计 | 第50-52页 |
| §3.4 气氛系统设计与计算 | 第52-56页 |
| §3.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 温度场传热分析及传热数学模型 | 第57-74页 |
| §4.1 温度场传热分析 | 第57-69页 |
| §4.1.1 传热的基本概念 | 第58页 |
| §4.1.2 传热方式的分析 | 第58-65页 |
| §4.1.3 综合传热计算 | 第65-69页 |
| §4.2 传热数学模型 | 第69-73页 |
| §4.2.1 炉内气体的流动状态 | 第69页 |
| §4.2.2 对流换热基本控制方程组 | 第69-71页 |
| §4.2.3 辐射换热模型 | 第71-73页 |
| §4.3 本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 温度场的实验研究 | 第74-85页 |
| §5.1 实验目的 | 第74页 |
| §5.2 实验内容 | 第74-75页 |
| §5.3 实验方法 | 第75-80页 |
| §5.4 实验结果及分析 | 第80-84页 |
| §5.5 实验研究结论 | 第84页 |
| §5.6 本章小结 | 第84-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-87页 |
| §6.1 研究工作总结 | 第85-86页 |
| §6.2 课题研究展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 作者在攻读工程硕士学位期间参与的科研项目 | 第91页 |
| 作者在攻读工程硕士学位期间取得的学术成果 | 第91-92页 |
| 附录A LTCC专用烧结炉实物照片 | 第92页 |