| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| ACKNOWLEDGEMENTS | 第7-10页 |
| LIST OF TABLES | 第10-11页 |
| LIST OF FIGURES | 第11-13页 |
| CHAPTER 1 INTRODUCTION | 第13-29页 |
| ·Introduction to ZnO | 第14-16页 |
| ·Crystal Structure | 第14-15页 |
| ·Physical Properties | 第15-16页 |
| ·Application | 第16页 |
| ·Preparation methods of ZnO films | 第16-20页 |
| ·Magnetron sputtering deposition | 第17-18页 |
| ·Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) | 第18-19页 |
| ·Pulsed laser deposition (PLD) | 第19页 |
| ·Sol-gel process | 第19-20页 |
| ·Plasma-molecular beam epitaxy (P-MBE) | 第20页 |
| ·Thermal oxidation | 第20页 |
| ·Doping of ZnO | 第20-27页 |
| ·Intrinsic defects in undoped ZnO | 第21-23页 |
| ·Nitrogen doping | 第23-24页 |
| ·P-type doping of ZnO | 第24-27页 |
| ·Main work of this study | 第27-29页 |
| CHAPTER 2 EXPERIMENT | 第29-37页 |
| ·Magnetron sputtering | 第29-31页 |
| ·Post-growth Annealing Process | 第31-32页 |
| ·Characterization | 第32-36页 |
| ·Hall measurements | 第32-33页 |
| ·Photoluminescence | 第33-34页 |
| ·X-ray diffraction analysis | 第34-35页 |
| ·Scanning Electron Microscope and Energy Dispersive X-ray spectroscopy | 第35-36页 |
| ·Conclusion | 第36-37页 |
| CHAPTER 3 PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF PHOSPHORUS DOPED P-TYPE ZnO FILMS | 第37-54页 |
| ·Effects of annealing way on properties of phosphorus doped ZnO film | 第38-44页 |
| ·Thin films preparation | 第38页 |
| ·XRD analysis | 第38-40页 |
| ·Morphology analysis | 第40-42页 |
| ·Electrical properties | 第42-43页 |
| ·Photoluminescence properties | 第43-44页 |
| ·Effects of O_2/Ar ratio on properties of phosphorus doped ZnO film | 第44-48页 |
| ·Effects of different annealing temperature on properties of phosphorus doped ZnO films | 第48-53页 |
| ·Conclusion | 第53-54页 |
| CHAPTER 4 INFLUENCE OF ANNEALING ON ZnO AND PHOSPHORUS DOPED ZnO FILMS | 第54-69页 |
| ·Effects of the annealing temperature on ZnO thin films | 第54-62页 |
| ·Property comparison of ZnO and P-doped ZnO films prepared by RF magnetron sputtering | 第62-66页 |
| ·Sample preparation | 第62-63页 |
| ·Characterization of the ZnO and P-doped ZnO films | 第63-66页 |
| ·Formation mechanism of phosphorus doped p-type ZnO | 第66-67页 |
| ·Conclusion | 第67-69页 |
| CONCLUSIONS | 第69-71页 |
| REFERENCES | 第71-76页 |
| 个人简历 | 第76页 |
