| 中文摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 低辐射玻璃 | 第11-16页 |
| 1.2.1 低辐射玻璃节能原理 | 第11-13页 |
| 1.2.2 低辐射玻璃的性能特点 | 第13页 |
| 1.2.3 低辐射玻璃的种类 | 第13-16页 |
| 1.3 低辐射玻璃研究现状 | 第16-19页 |
| 1.3.1 低辐射玻璃研究国内外进展 | 第17-18页 |
| 1.3.2 低辐射玻璃未来的研究方向 | 第18-19页 |
| 1.4 薄膜制备方法 | 第19-21页 |
| 1.4.1 磁控溅射法 | 第19-20页 |
| 1.4.2 溶胶凝胶法 | 第20页 |
| 1.4.3 化学气相沉积法 | 第20-21页 |
| 1.4.4 脉冲激光沉积法 | 第21页 |
| 1.5 本课题研究目的及内容 | 第21-23页 |
| 第2章 低辐射复合薄膜的设计、制备与表征 | 第23-28页 |
| 2.1 低辐射复合薄膜的光学设计 | 第23页 |
| 2.2 磁控溅射制备低辐射膜系 | 第23-25页 |
| 2.2.1 衬底的选择与清洗 | 第23-24页 |
| 2.2.2 磁控溅射设备的主要参数 | 第24页 |
| 2.2.3 磁控溅射复合膜系制备工艺流程 | 第24-25页 |
| 2.3 低辐射膜系的结构与性能表征 | 第25-28页 |
| 2.3.1 薄膜厚度 | 第25-26页 |
| 2.3.2 薄膜折射率 | 第26页 |
| 2.3.3 薄膜晶体结构 | 第26页 |
| 2.3.4 薄膜的表面形貌、成分 | 第26页 |
| 2.3.5 薄膜的光学性能 | 第26-27页 |
| 2.3.6 薄膜的电学性能 | 第27-28页 |
| 第3章 Al_2O_3/Ag/AZO/Al_2O_3低辐射膜系性能研究 | 第28-46页 |
| 3.1 四层膜系(Al_2O_3/Ag/AZO/Al_2O_3)拟合 | 第28-30页 |
| 3.1.1 四层膜系(Al_2O_3/Ag/AZO/Al_2O_3)膜层综合设计 | 第28-29页 |
| 3.1.2 缓冲层与保护层对低辐射膜系影响的拟合研究 | 第29-30页 |
| 3.2 Ag膜厚度Ag/AZO低辐射性能的影响 | 第30-35页 |
| 3.2.1 Ag膜厚度对Ag/AZO功能层透过性能研究 | 第30-31页 |
| 3.2.2 Ag膜厚度对Ag/AZO功能层红外反射性能研究 | 第31-33页 |
| 3.2.3 不同厚度Ag膜Ag/AZO功能层XRD研究 | 第33-34页 |
| 3.2.4 不同厚度Ag膜Ag/AZO功能层电学性能研究 | 第34-35页 |
| 3.3 缓冲层对Ag/AZO功能层影响研究 | 第35-40页 |
| 3.3.1 缓冲层对Ag/AZO功能层结构的影响 | 第35-37页 |
| 3.3.2 缓冲层对Ag/AZO功能层光学性能的影响 | 第37-40页 |
| 3.3.3 缓冲层对Ag/AZO功能层电学性能的影响 | 第40页 |
| 3.4 保护层对Ag/AZO功能层影响研究 | 第40-45页 |
| 3.4.1 保护层对Ag/AZO功能层光学性能的影响 | 第41-43页 |
| 3.4.2 保护层对Ag/AZO功能层电学性能的影响 | 第43-44页 |
| 3.4.3 Al_2O_3/Ag/AZO/Al_2O_3低辐射膜系微观结构 | 第44-45页 |
| 3.5 小结 | 第45-46页 |
| 第4章 Al_2O_3/AZO/Al_2O_3低辐射膜系性能研究 | 第46-70页 |
| 4.1 三层膜系(Al_2O_3/AZO/Al_2O_3)拟合 | 第46-48页 |
| 4.1.1 三层膜系(Al_2O_3/AZO/Al_2O_3)膜层综合设计 | 第46-47页 |
| 4.1.2 缓冲层与保护层对低辐射膜系影响的拟合研究 | 第47-48页 |
| 4.1.3 拟合结果对比分析 | 第48页 |
| 4.2 AZO膜低辐射性能及结构的研究 | 第48-53页 |
| 4.2.1 AZO膜厚度对结构影响的研究 | 第48-49页 |
| 4.2.2 AZO膜厚度对透过性能影响的研究 | 第49-50页 |
| 4.2.3 AZO膜厚度对红外反射性能影响的研究 | 第50-52页 |
| 4.2.4 不同厚度AZO功能层电学性能影响研究 | 第52-53页 |
| 4.3 基底温度对AZO功能层性能及结构影响 | 第53-57页 |
| 4.3.1 基底温度对AZO功能层结构影响研究 | 第53-54页 |
| 4.3.2 不同基底温度对AZO功能层透过性能影响研究 | 第54-55页 |
| 4.3.3 不同基底温度对AZO功能层红外反射性能影响研究 | 第55-56页 |
| 4.3.4 不同基底温度对AZO功能层电学性能影响研究 | 第56-57页 |
| 4.4 缓冲层对AZO膜功能层影响研究 | 第57-62页 |
| 4.4.1 缓冲层对AZO膜功能层结构的影响 | 第58-59页 |
| 4.4.2 缓冲层对AZO功能层光学性能的影响 | 第59-61页 |
| 4.4.3 缓冲层对AZO功能层电学性能的影响 | 第61-62页 |
| 4.5 保护层对AZO功能层影响研究 | 第62-68页 |
| 4.5.1 保护层对AZO功能层光学性能的影响 | 第63-66页 |
| 4.5.2 保护层对Ag/AZO功能层电学性能的影响 | 第66-67页 |
| 4.5.3 Al_2O_3/AZO/Al_2O_3低辐射膜系微观结构 | 第67-68页 |
| 4.6 小结 | 第68-70页 |
| 第5章 结论 | 第70-71页 |
| 5.1 结论 | 第70页 |
| 5.2 展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第79页 |
