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钛酸铋钠铁电薄膜的制备与性能研究

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
第1章 绪论第9-23页
    1.1 钛酸铋钠铁电薄膜概述第9-12页
        1.1.1 铁电薄膜的基本特征及应用第9-11页
        1.1.2 钛酸铋钠的基本性质第11-12页
    1.2 钛酸铋钠基铁电薄膜的制备第12-17页
        1.2.1 脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition, PLD)第12-13页
        1.2.2 化学溶液沉积(Chemical Solution Deposition, CSD)第13-15页
        1.2.3 磁控溅射沉积(Sputtering Deposition)第15-16页
        1.2.4 化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition)第16-17页
    1.3 钛酸铋钠铁电薄膜的掺杂改性第17-18页
    1.4 喷墨打印制备薄膜概述第18-20页
    1.5 本文的研究内容及意义第20-23页
第2章 实验方法与仪器第23-31页
    2.1 实验原料及实验仪器第23-25页
        2.1.1 BNT溶胶制备的原料第23-24页
        2.1.2 BNT薄膜制备的仪器第24-25页
    2.2 实验方法第25-28页
        2.2.1 衬底选择与清洗第25页
        2.2.2 BNT墨水的制备第25-26页
        2.2.3 BNT薄膜的喷墨打印第26-27页
        2.2.4 BNT薄膜的旋涂制备第27-28页
        2.2.5 薄膜的热处理及顶电极的制备第28页
    2.3 表征第28-31页
第3章 BNT薄膜的喷墨打印制备第31-39页
    3.1 喷墨打印墨水的流变性能第31-32页
    3.2 热处理制度的确定第32-34页
    3.3 喷墨打印墨水的物相优化第34-35页
    3.4 BNT墨水添加剂的选择第35-37页
    3.5 喷墨打印BNT薄膜的微观表面结构第37-38页
    3.6 本章小结第38-39页
第4章 不同退火温度及湿空气对喷墨打印BNT薄膜性能的影响第39-59页
    4.1 不同退火温度对BNT薄膜结晶性的影响第39-40页
    4.2 不同退火温度下BNT薄膜的微观形貌第40-41页
    4.3 不同退火温度下BNT薄膜的性能第41-46页
        4.3.1 BNT薄膜的铁电性能第41-43页
        4.3.2 BNT薄膜的电压-电流特性曲线第43-44页
        4.3.3 BNT薄膜的介电性能第44-46页
    4.4 湿空气对BNT薄膜结晶性的影响第46-47页
    4.5 湿空气对BNT薄膜表面形貌的影响第47-48页
    4.6 湿空气对BNT薄膜性能的影响第48-52页
        4.6.1 BNT薄膜的铁电性能第48-49页
        4.6.2 BNT薄膜的电压-电流特性曲线第49-50页
        4.6.3 BNT薄膜的介电性能第50-52页
    4.7 BNT薄膜的氧空位表征第52-57页
        4.7.1 氧空位的XPS测试第52-56页
        4.7.2 BNT薄膜的导电机制第56-57页
    4.8 本章小结第57-59页
第5章 BNT薄膜的掺杂改性第59-73页
    5.1 BNT溶液的优化第59-61页
    5.2 BiFeO_3掺杂对Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3薄膜性能的影响第61-67页
        5.2.1 Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3-BiFeO_3薄膜的晶体结构第61-63页
        5.2.2 Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3-BiFeO_3薄膜的铁电性能第63-64页
        5.2.3 Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3-BiFeO_3薄膜的电压-电流特性曲线第64-65页
        5.2.4 Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3-BiFeO_3薄膜的介电性能第65-67页
    5.3 BiMO_3(M=Fe、Co、Al)掺杂对Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3薄膜性能的影响第67-71页
        5.3.1 Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3-BiMO_3薄膜的晶体结构第67-68页
        5.3.2 Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3-BiMO_3薄膜的铁电性能第68-69页
        5.3.3 Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3-BiMO_3薄膜的电压-电流特性曲线第69-70页
        5.3.4 Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3-BiMO_3薄膜的介电性能第70-71页
    5.4 本章小结第71-73页
第6章 总结与展望第73-75页
    6.1 工作总结第73-74页
    6.2 研究展望第74-75页
参考文献第75-81页
发表论文和参加科研情况说明第81-83页
致谢第83页

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