| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 硅基集成光子学的发展 | 第11-12页 |
| 1.3 硅基光学微环谐振器的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.4 本文主要完成的工作 | 第13-15页 |
| 2 硅基微环谐振器的基本理论 | 第15-31页 |
| 2.1 光波导基本理论 | 第15-19页 |
| 2.2 硅基微环谐振器结构与原理 | 第19-25页 |
| 2.3 硅基微环谐振器应用介绍 | 第25-29页 |
| 2.4 数值计算方法 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 3 硅基亚波长光栅波导微环谐振器及其传感应用 | 第31-57页 |
| 3.1 亚波长光栅波导 | 第31-34页 |
| 3.2 亚波长光栅微环谐振器 | 第34-38页 |
| 3.3 法诺(FANO)谐振谱型 | 第38-40页 |
| 3.4 硅基亚波长光栅波导微环谐振腔的复折射率传感应用 | 第40-48页 |
| 3.5 实验工艺制备与测试 | 第48-56页 |
| 3.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 4 硅基铒掺杂聚合物狭缝微环谐振器的研究 | 第57-64页 |
| 4.1 狭缝波导的原理 | 第57-59页 |
| 4.2 硅基铒掺杂聚合物狭缝微环谐振器的研究 | 第59-63页 |
| 4.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 5 总结与展望 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-75页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文及科研成果 | 第75页 |