| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1.绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 大功率电子器件散热 | 第8-9页 |
| 1.1.1 大功率电子器件散热问题 | 第8-9页 |
| 1.1.2 大功率电子器件散热技术 | 第9页 |
| 1.2 脉动微热管与其发展现状 | 第9-12页 |
| 1.2.1 脉动微热管的工作原理 | 第9-10页 |
| 1.2.2 脉动微热管的发展现状 | 第10-12页 |
| 1.3 微平板热管与其发展现状 | 第12-14页 |
| 1.3.1 微平板热管的工作原理 | 第12-13页 |
| 1.3.2 微平板热管的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.4 课题研究背景及来源 | 第14-15页 |
| 1.5 本文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 2.微平板通道热管的研制 | 第16-27页 |
| 2.1 脉动微热管的结构设计 | 第16-18页 |
| 2.1.1 脉动微热管基板的结构及掩膜设计 | 第16-17页 |
| 2.1.2 脉动微热管玻璃盖板的结构及掩膜的设计 | 第17-18页 |
| 2.2 无蒸汽腔热管的结构设计 | 第18-19页 |
| 2.1.1 无蒸汽腔热管硅基板的结构及掩膜设计 | 第18-19页 |
| 2.1.2 无蒸汽腔热管玻璃盖板的结构及掩膜设计 | 第19页 |
| 2.3 脉动微热管加工工艺 | 第19-25页 |
| 2.3.1 硅基板沟道的加工工艺 | 第20-22页 |
| 2.3.2 玻璃盖板沟道的加工工艺 | 第22-24页 |
| 2.3.3 硅基板与玻璃盖板的静电键合工艺 | 第24-25页 |
| 2.4 微平板通道热管的灌注与封装 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 3.微平板通道热管传热性能测试及结果分析 | 第27-36页 |
| 3.1 测试平台 | 第27-29页 |
| 3.1.1 测试平台的测试原理 | 第27页 |
| 3.1.2 测试平台的组成 | 第27-28页 |
| 3.1.3 测试平台的测试过程 | 第28-29页 |
| 3.2 微平板通道热管传热性能测试结果分析 | 第29-35页 |
| 3.2.1 脉动微热管传热性能测试及结果分析 | 第29-33页 |
| 3.2.2 带有蒸汽腔微热管传热性能测试及结果分析 | 第33-35页 |
| 3.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 4.微平板通道热管传热性能仿真模拟研究 | 第36-54页 |
| 4.1 微平板通道热管数值计算方法及仿真软件简介 | 第36-37页 |
| 4.2 蒸汽腔热管的仿真研究 | 第37-41页 |
| 4.2.1 蒸汽腔热管模型的建立与网格的划分 | 第37-38页 |
| 4.2.2 蒸汽腔热管前处理的设置 | 第38-39页 |
| 4.2.3 蒸汽腔热管仿真结果分析 | 第39-40页 |
| 4.2.4 蒸汽腔热管仿真结果与实验对比 | 第40-41页 |
| 4.3 W型吸液芯结构的设计及仿真研究 | 第41-52页 |
| 4.3.1 W型吸液芯结构的设计思想 | 第41-42页 |
| 4.3.2 W型吸液芯结构模型建立与网格划分 | 第42-43页 |
| 4.3.3 W型吸液芯前处理设置 | 第43页 |
| 4.3.4 W型吸液芯结构仿真与理论结果分析 | 第43-47页 |
| 4.3.5 W型吸液芯结构及三角形、矩形吸液芯结构对毛细力大小的理论分析 | 第47-51页 |
| 4.3.6 W型吸液芯结构的掩膜设计 | 第51-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |