| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 微波等离子体的特点及其应用 | 第10页 |
| 1.2 小型微波等离子炬的国内外研究现状及意义 | 第10-12页 |
| 1.3 微波加热的特点和微波炉的国内外研究现状及意义 | 第12-14页 |
| 1.3.1 微波加热的特点 | 第12页 |
| 1.3.2 微波炉的国内外研究现状及意义 | 第12-14页 |
| 1.4 三维电磁仿真软件HFSS概述 | 第14-15页 |
| 1.5 本论文的内容安排及创新点 | 第15-17页 |
| 第二章 微波谐振腔基本特性 | 第17-32页 |
| 2.1 谐振腔的基本特性 | 第17-24页 |
| 2.1.1 谐振波长λ_0 | 第17-20页 |
| 2.1.2 固有品质因数Q_0 | 第20-21页 |
| 2.1.3 特性阻抗ρ_0 | 第21-22页 |
| 2.1.4 谐振腔耦合结构 | 第22-23页 |
| 2.1.5 有载品质因数及耦合系数 | 第23-24页 |
| 2.2 λ/4 同轴谐振腔基本结构及其电磁特性 | 第24-28页 |
| 2.2.1 λ/4 同轴谐振腔基本结构 | 第24-25页 |
| 2.2.2 λ/4 同轴谐振腔电磁特性 | 第25-28页 |
| 2.2.2.1 内导体尖端电场 | 第25-26页 |
| 2.2.2.2 腔体功率损耗及其固有品质因数 | 第26-28页 |
| 2.3 圆柱形谐振腔 | 第28-31页 |
| 2.3.1 圆柱形谐振腔谐振模式和场分布 | 第28-30页 |
| 2.3.2 圆柱形谐振腔谐振波长及固有品质因数 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 小型低功率微波等离子炬装置设计 | 第32-45页 |
| 3.1 建立仿真模型 | 第32-35页 |
| 3.2 腔体结构设计 | 第35-40页 |
| 3.2.1 内外导体尺寸设计 | 第35-36页 |
| 3.2.2 耦合结构设计 | 第36-37页 |
| 3.2.3 谐振腔开口大小设计 | 第37-38页 |
| 3.2.4 通气孔位置设计 | 第38-39页 |
| 3.2.5 调谐结构设计 | 第39-40页 |
| 3.3 带汽缸模型仿真 | 第40-42页 |
| 3.4 装置加工及基本特性测试 | 第42-43页 |
| 3. 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 小型低功率微波等离子炬实验 | 第45-50页 |
| 4.1 实验平台 | 第45-49页 |
| 4.1.1 直流稳压电源 | 第46页 |
| 4.1.2 磁控管微波源 | 第46-47页 |
| 4.1.3 射频隔离器 | 第47-49页 |
| 4.2 实验步骤与结果分析 | 第49页 |
| 4.3 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 圆柱形微波炉腔体仿真设计 | 第50-68页 |
| 5.1 磁控管天线仿真模型 | 第50页 |
| 5.2 微波炉传输波导 | 第50-51页 |
| 5.3 微波炉耦合窗 | 第51-53页 |
| 5.4 微波炉炉腔 | 第53-54页 |
| 5.5 圆柱微波炉模型仿真设计 | 第54-59页 |
| 5.6 利用HFSS场计算器求解电场均匀性 | 第59-62页 |
| 5.7 均匀性分析 | 第62-67页 |
| 5.8 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻硕时期获得的研究成果 | 第73-74页 |