| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 太赫兹波概述 | 第10-11页 |
| 1.2 太赫兹通信简介 | 第11-12页 |
| 1.3 太赫兹波滤波器的发展现状 | 第12-13页 |
| 1.3.1 光子晶体滤波器 | 第12-13页 |
| 1.3.2 超材料结构滤波器 | 第13页 |
| 1.4 太赫兹极化偏转器 | 第13-17页 |
| 1.5 论文主要内容 | 第17-18页 |
| 第二章 超材料带通滤波器理论研究 | 第18-28页 |
| 2.1 太赫兹滤波器仿真系统简介 | 第18页 |
| 2.2 太赫兹时域光谱技术简介 | 第18-19页 |
| 2.3 柔性衬底 | 第19-21页 |
| 2.3.1 聚酰亚胺主要特性 | 第20页 |
| 2.3.2 聚酰亚胺胶体的固化 | 第20-21页 |
| 2.4 太赫兹波带通滤波器结构设计与优化 | 第21-27页 |
| 2.4.1 带通滤波器设计目标 | 第21页 |
| 2.4.2 本征硅衬底带通滤波器结构的设计 | 第21-25页 |
| 2.4.3 柔性衬底带通滤波器结构的设计 | 第25-27页 |
| 2.4.4 制版 | 第27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 超材料带通滤波器实验研究 | 第28-45页 |
| 3.1 超材料滤波器的加工工艺 | 第28页 |
| 3.2 超材料滤波器的制备 | 第28-36页 |
| 3.2.1 实验前的准备工作 | 第28-29页 |
| 3.2.2 制备PI薄膜 | 第29-31页 |
| 3.2.3 光刻 | 第31-33页 |
| 3.2.4 镀金属金 | 第33-34页 |
| 3.2.7 去胶与剥离 | 第34-36页 |
| 3.3 工艺的探索与分析 | 第36-39页 |
| 3.3.1 曝光时间对图形的影响 | 第37-38页 |
| 3.3.2 显影时间对图形的影响 | 第38-39页 |
| 3.4 滤波器透射性能的测试 | 第39-43页 |
| 3.4.1 聚酰亚胺薄膜对太赫兹波的响应 | 第39-40页 |
| 3.4.2 硅衬底上超材料滤波器透射性能的测试 | 第40-41页 |
| 3.4.3 柔性衬底上金属超结构滤波器透射性能的测试 | 第41-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 基于SRR结构超材料滤波器的研究 | 第45-55页 |
| 4.1 开口谐振环简介 | 第45页 |
| 4.2 基于双SRR结构滤波器的设计 | 第45-51页 |
| 4.2.1 PI衬底对滤波器性能的影响 | 第47-49页 |
| 4.2.2 金属结构长度b对滤波器性能的影响 | 第49-51页 |
| 4.3 器件加工与性能测试 | 第51-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 THZ波极化转换器初步研究 | 第55-66页 |
| 5.1 极化偏转器的工作原理 | 第55页 |
| 5.2 非互易性材料的选择与制备 | 第55-57页 |
| 5.3 样品的表征与性能测试 | 第57-59页 |
| 5.3.1 样品形貌测试 | 第57-58页 |
| 5.3.2 样品的成分测试 | 第58-59页 |
| 5.4 太赫兹波性能测试 | 第59-64页 |
| 5.4.1 太赫兹波时域光谱性能测试 | 第59-60页 |
| 5.4.2 太赫兹波点对点收发系统的搭建 | 第60-61页 |
| 5.4.3 太赫兹波极化偏转角与透射性能测试 | 第61-64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第六章 结论 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第71-72页 |