Au-B、Ag-B靶材制备及致密化过程研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 绪论 | 第11-24页 |
| 1.1 惯性约束聚变 | 第11-13页 |
| 1.1.1 惯性约束核聚变(ICF)研究进展 | 第11-12页 |
| 1.1.2 Au-B薄膜在ICF中的应用 | 第12-13页 |
| 1.2 Au、B的基本性质 | 第13-14页 |
| 1.3 Ag-B和Au-B二元系的相似性 | 第14页 |
| 1.4 Au-B靶材制备技术 | 第14-23页 |
| 1.4.1 溅射靶材的原料 | 第15-16页 |
| 1.4.2 溅射靶材的致密化研究进展 | 第16-22页 |
| 1.4.3 溅射靶材的基本性能要求 | 第22-23页 |
| 1.5 课题研究目的与意义 | 第23-24页 |
| 2 课题研究方案 | 第24-29页 |
| 2.1 课题研究技术路线 | 第24页 |
| 2.2 Ag-B、Au-B粉体机械混合及性能表征 | 第24-25页 |
| 2.2.1 机械混合原理 | 第24页 |
| 2.2.2 机械混合的影响因素 | 第24-25页 |
| 2.2.3 机械混合设备及工艺参数 | 第25页 |
| 2.2.4 粉体性能表征方法 | 第25页 |
| 2.3 Ag-B、Au-B靶材制备及性能表征 | 第25-29页 |
| 2.3.1 Ag-B、Au-B靶材的制备方法 | 第25页 |
| 2.3.2 热压烧结实验设备 | 第25-26页 |
| 2.3.3 影响热压烧结的因素 | 第26页 |
| 2.3.4 热压烧结工艺参数 | 第26-27页 |
| 2.3.5 靶材性能表征 | 第27-29页 |
| 3 Ag-B靶材热压实验结果讨论与致密化过程分析 | 第29-53页 |
| 3.1 Ag-B粉体的机械混合 | 第29-35页 |
| 3.1.1 原料性能 | 第29-30页 |
| 3.1.2 样品制备 | 第30页 |
| 3.1.3 混粉实验结果 | 第30-31页 |
| 3.1.4 粉体混合工艺优化 | 第31-33页 |
| 3.1.5 粉体物相 | 第33页 |
| 3.1.6 粉体DSC曲线 | 第33-35页 |
| 3.2 Ag-B靶材热压实验 | 第35-51页 |
| 3.2.1 实验设备及试验参数 | 第35页 |
| 3.2.2 热压工艺条件对靶材相对密度的影响 | 第35-38页 |
| 3.2.3 热压工艺条件对靶材晶粒尺寸的影响 | 第38-43页 |
| 3.2.4 热压工艺条件对靶材气孔率的影响 | 第43-48页 |
| 3.2.5 Ag-B靶材物相分析 | 第48-49页 |
| 3.2.6 Ag-B靶材致密化过程分析 | 第49-51页 |
| 3.3 本章小结 | 第51-53页 |
| 4 Au-B靶材热压实验结果与讨论 | 第53-58页 |
| 4.1 Au-B粉体机械混合 | 第53-54页 |
| 4.1.1 粉体B元素面扫描 | 第53-54页 |
| 4.1.2 粉体物相分析 | 第54页 |
| 4.2 Au-B靶材热压烧结 | 第54-57页 |
| 4.2.1 Au-B靶材物相分析 | 第55-56页 |
| 4.2.2 Au-B靶材晶粒尺寸 | 第56页 |
| 4.2.3 Au-B靶材金相及SEM分析 | 第56-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 在学研究成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
