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磁控溅射制备Cu2ZnSnS4薄膜及太阳电池性能研究

摘要第5-7页
abstract第7-9页
第1章 绪论第13-18页
    1.1 研究背景第13-14页
    1.2 太阳能电池的工作原理第14页
    1.3 CZTS太阳能电池的研究进展第14-15页
    1.4 CZTS太阳能电池结构第15-16页
    1.5 本工作的研究意义和主要研究内容第16-18页
第2章 实验设备、原理及技术第18-25页
    2.1 实验及测试主要仪器第18页
    2.2 磁控溅射原理第18-19页
    2.3 材料制备方法第19-21页
        2.3.1 衬底处理第19页
        2.3.2 背电极制备第19-20页
        2.3.3 吸收层制备第20页
        2.3.4 缓冲层制备第20-21页
        2.3.5 窗口层制备第21页
        2.3.6 Ag电极制备第21页
    2.4 薄膜材料表征第21-25页
        2.4.1 台阶仪第21-22页
        2.4.2 扫描电子显微镜(SEM)及能谱仪(EDS)第22页
        2.4.3 X射线衍射仪(XRD)第22-23页
        2.4.4 拉曼光谱仪(Raman)第23页
        2.4.5 紫外-可见透射光谱仪第23页
        2.4.6 半导体器件参数分析仪第23-24页
        2.4.7 太阳能电池光谱响应测量系统第24-25页
第3章 CZTS薄膜制备及电池性能的研究第25-39页
    3.1 Zn含量对CZTS薄膜及电池特性的影响第25-31页
        3.1.1 实验过程第25页
        3.1.2 X射线衍射分析第25-26页
        3.1.3 Raman光谱分析第26-27页
        3.1.4 化学组分分析第27-28页
        3.1.5 表面及截面形貌分析第28-30页
        3.1.6 电池器件性能分析第30-31页
    3.2 衬底温度对CZTS薄膜及电池特性的影响第31-37页
        3.2.1 实验过程第31-32页
        3.2.2 X射线衍射分析第32页
        3.2.3 Raman光谱分析第32-33页
        3.2.4 表面及截面形貌分析第33-34页
        3.2.5 化学组分分析第34-35页
        3.2.6 吸收光谱分析第35-36页
        3.2.7 电池器件性能分析第36-37页
    3.3 本章小结第37-39页
第4章 Ge和Se掺杂CZTS薄膜的制备及电池性能的研究第39-46页
    4.1 Ge、Se含量对CZTS薄膜及电池特性的影响第39-44页
        4.1.1 实验过程第39页
        4.1.2 化学组分分析第39-40页
        4.1.3 表面及截面形貌分析第40-41页
        4.1.4 X射线衍射分析第41-42页
        4.1.5 Raman光谱分析第42-43页
        4.1.6 电池器件性能分析第43-44页
    4.2 本章小结第44-46页
第5章 阳离子Cd掺杂CZTS薄膜的制备及电池性能的研究第46-56页
    5.1 Cd含量对CZTS薄膜及电池特性的影响第46-52页
        5.1.1 实验过程第46页
        5.1.2 X射线衍射分析第46-47页
        5.1.3 Raman光谱分析第47-48页
        5.1.4 化学组分分析第48-49页
        5.1.5 表面及截面形貌分析第49-50页
        5.1.6 紫外-可见吸收特性分析第50-51页
        5.1.7 电池器件性能分析第51-52页
    5.2 电池器件优化第52-55页
    5.3 本章小结第55-56页
结束语第56-58页
参考文献第58-62页
致谢第62页

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